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上海納騰儀器有限公司
主營產品:原子力顯微鏡,探針式輪廓儀,光學輪廓儀,膜厚儀,納米壓痕儀,探針臺,光刻機
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長晶設備

 
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長晶爐 6/8英寸 碳化硅SiC長晶設備
  • 品牌:納騰
  • 產地:上海 徐匯區(qū)
  • PVT碳化硅晶體生長工藝主要通過設置合適的長晶溫度以及長晶氣壓,在此溫度以及氣壓下SiC發(fā)生明顯的分解與升華,產生Si和SiC蒸氣壓,在高溫爐內形成的溫度梯度作用下向低溫方向輸送并凝聚在頂部和底部較低

金剛石長晶設備MPCVD金剛石長晶設備
  • 品牌:納騰
  • 產地:上海 徐匯區(qū)
  • 微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng),微波發(fā)生器產生的微波用波導管傳輸至反應器,并向反應器中通入不同氣體構成的混合氣體,高強度微波能激發(fā)分解基片上方的含碳氣體形成活性含碳基團和原子態(tài)氫,并形成等