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上海納騰儀器有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品:原子力顯微鏡,探針式輪廓儀,光學(xué)輪廓儀,膜厚儀,納米壓痕儀,探針臺(tái),光刻機(jī)
聯(lián)系電話:
021-64283335
銀牌會(huì)員 第 11 年

上海納騰儀器有限公司

認(rèn)證:工商信息已核實(shí)
儀企號(hào) 
上海納騰儀器有限公司
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電子束曝光

 
當(dāng)前位置: 首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 電子束曝光
電子束曝光機(jī)(Electron Beam Lithography, EBL)
  • 品牌:SHNTI
  • 型號(hào):Pharos X100
  • 產(chǎn)地:亞洲 韓國(guó)
  • 電子束曝光一種高分辨率的微細(xì)加工技術(shù),廣泛應(yīng)用于納米科技和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。其基本原理是利用聚焦的電子束在光刻膠上進(jìn)行直接寫入,通過(guò)改變光刻膠的化學(xué)性質(zhì)來(lái)形成微納米結(jié)構(gòu)圖案。上海納騰儀器有限公司自主研發(fā)...

電子束曝光系統(tǒng) ELS-F125/F100/HS50
  • 品牌:納騰
  • 型號(hào):ELS-F125/F100/HS50
  • 產(chǎn)地:上海 徐匯區(qū)
  • ELS-F125是Elionix推出的加速電壓達(dá)125KV的電子束曝光系統(tǒng),其可加工線寬下限為5nm的精細(xì)圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)