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上海納騰儀器有限公司
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激光干涉光刻機

 
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光刻機激光干涉光刻機VIL1000
  • 品牌:納騰
  • 型號:VIL1000
  • 產(chǎn)地:上海 徐匯區(qū)
  • VIL系列納米圖形系統(tǒng)(激光干涉光刻機)具有快速可重構(gòu)光束傳輸、主動圖形穩(wěn)定和精確樣品定位等強大功能。該系統(tǒng)可以通過使用標(biāo)準(zhǔn)2cm×2cm正方形或用戶定義形狀的圖案場進行重復(fù)曝光,在8英寸大面積上產(chǎn)生