GATAN 第二代精密刻蝕鍍膜儀(PECS TMII)是一款桌面型寬束氬離子拋光及鍍膜設(shè)備對于同一個樣品，可在同一真空環(huán)境下完成拋光及鍍膜PECSII是一款完全獨立結(jié)構(gòu)緊湊的臺式設(shè)備采用兩個寬束氬離子源對樣品表面進行拋光，去除損傷層，從而得到高質(zhì)量樣品，用于在SEM，光鏡或者 掃 描 探 針 顯 微 鏡 上 進 行 成 像 EDS EBSD CL EBIC或其它分析 Gatan 寬束氬離子拋光系統(tǒng) 697 Ilion II gatan冷凍傳輸系統(tǒng)ALTO 1000 蔡司（ZEISS） EVO 18鎢燈絲系列掃描電鏡 Gatan 原位加熱臺Murano 525 蔡司SIGMA 500高分辨率場發(fā)射掃描電鏡