隨著工業(yè)過(guò)程復(fù)雜化的增加，需要更嚴(yán)格、更高質(zhì)量的分析，以確保產(chǎn)品符合所有質(zhì)量和可靠性標(biāo)準(zhǔn)。由于掃描電鏡（SEM）可以提供樣品表面微觀結(jié)構(gòu)的詳細(xì)（納米級(jí)）信息，因此已成為實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行現(xiàn)代研發(fā)以及失效分析和故障排除的常用工具。掃描電鏡通常與 X 射線能譜儀（EDS）結(jié)合使用，將形貌特征和元素信息結(jié)合起來(lái)。

想要將 SEM 和 EDS 的數(shù)據(jù)結(jié)合起來(lái)，通常需要復(fù)雜的工作流程，需要用到多個(gè)軟件才能Z終獲得想要的數(shù)據(jù)。這種復(fù)雜的用戶(hù)體驗(yàn)降低了實(shí)驗(yàn)室的工作效率，造成了潛在的儀器使用行為不一致，并使培訓(xùn)更加困難，從而使得 SEM-EDS 在大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室中成為一種專(zhuān)業(yè)技術(shù)。

在本文檔中，我們將簡(jiǎn)要介紹 SEM 和 EDS，以及如何將二者結(jié)合起來(lái)，在工業(yè)應(yīng)用中進(jìn)行更深入的材料表征。我們還將展示獨(dú)有的 Thermo Scientific ChemiSEM 技術(shù)，該技術(shù)將 SEM 和 EDS 集成到一起，成為一種快速、易用的分析手段，無(wú)論是新手用戶(hù)還是專(zhuān)業(yè)人士都可快速掌握。