背散射電子衍射裝置(EBSD)是掃描電子顯微鏡(SEM)的附件之一，它能提供如：晶間取向研究相辨別和晶粒尺寸測(cè)量等完整的分析數(shù)據(jù)在很短的時(shí)間就可以獲得衍射花樣，延長(zhǎng)掃描時(shí)間可以提高衍射花樣的質(zhì)量，而獲得晶粒取向分布圖則需要非常長(zhǎng)的掃描時(shí)間，它需要獲得視場(chǎng)上的每個(gè)像素點(diǎn)的衍射花樣衍射花樣質(zhì)量的高低，取決于在樣品制備過(guò)程中，晶體晶格上的損傷去除的情況和衍射花樣標(biāo)定指數(shù)可信度的影響