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儀器網/ 應用方案/ FIB-SEM雙束電鏡應用之生物3D EBSD分析

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EBSD，即電子背散射衍射技術，是利用SEM快速測定樣品表面的微區(qū)晶體取向，并可以根據微區(qū)晶體取向的信息來表征材料的微觀結構：例如晶粒尺寸，相分布，織構，晶界分析，應變等等。由于EBSD可以同時提供多方位的材料微觀信息，所以這項技術在材料研究和材料失效分析中越來越受到重視。


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