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深圳市藍星宇電子科技有限公司
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- 品牌：日本伊領(lǐng)科思
- 型號：ELS-BODEN
- 產(chǎn)地：亞洲 日本
ELS-BODEN 新型電子束光刻系統(tǒng),高速掃描400MHz頻率生產(chǎn)
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- 品牌：日本伊領(lǐng)科思
- 型號： ELS-F150
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日本Elionix 超高精密電子束光刻系統(tǒng) ELS-F150, 是世界上DY個150千伏電子束光刻系統(tǒng)。支持單位納米級用于高級研究的設(shè)備制造。
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- 品牌：日本伊領(lǐng)科思
- 型號：ELS-F125
- 產(chǎn)地：亞洲 日本
日本Elionix 微細加式電子束曝光電子束直寫機ELS-F125，是Elionix推出的世界上首臺加速電壓達125KV的電子束曝光系統(tǒng)，其可加工線寬下限為5nm的精細圖形。
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