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深圳市藍星宇電子科技有限公司
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芬蘭 Picosun 原子層沉積機

 
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PICOSUN  高級原子沉積機 P-300B Advanced ALD
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號:P-300B
  • 產地:歐洲 芬蘭
  • PICOSUN 高級原子沉積機 P-300B Advanced ALD,基片尺寸和類型 300mm晶圓10片/批次(標準間距),200mm晶圓25+2片/批次(標準間距)

PICOSUN 原子層沉積機  P-300S Pro ALD
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號: P-300S
  • 產地:歐洲 芬蘭
  • PICOSUN 原子層沉積機 P-300S Pro ALD ,Z 大300mm晶圓/單片,25片晶圓盒對盒式全自動裝載(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM? 30...

PICOSUN 原子沉積機 P-300F ,P-300BV
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號:PICOSUN P-300F ,P-300BV
  • 產地:歐洲 芬蘭
  • PICOSUN 生產型原子層沉積機 P-300F Pro ALD PICOSUN 生產型原子層沉積機 P-300BV Pro ALD 。襯底尺寸和類型 200 mm 晶圓 25 + 2片/批次 ...

PICOSUN  生產型原子層沉積機 P-200S Pro ALD
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號:P-200S
  • 產地:歐洲 芬蘭
  • PICOSUN 生產型原子層沉積機 P-200S Pro ALD ,由兩臺PICOSUN P-200S ALD設備組成,帶等離子體源PICOPLASMA。

PICOSUN P-1000 Pro ALD 生產型原子層沉積機
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號:P-1000 Pro
  • 產地:歐洲 芬蘭
P-300 Advanced ALD 高 級型原子層沉積機
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號:P-300 Advanced
  • 產地:歐洲 芬蘭
P-300B Advanced ALD 高 級原子沉積機
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號:P-300B Advanced
  • 產地:歐洲 芬蘭
  • 液態(tài),固態(tài),氣態(tài),臭氧源; 前驅源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務; ?4根獨立源管線,zui多加載6個前驅體源。

芬蘭 PICOSUN R-200標準型ALD
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號:R-200標準型
  • 產地:歐洲 芬蘭
  • PICOSUN? R系列設備提供高質量ALD薄膜的沉積技術,并在各種各樣的襯底上都表現極 佳的均勻性,包括zui具挑戰(zhàn)性的通孔的、超高深寬比和顆粒等樣品。

芬蘭 Picosun R-200 高級型原子層沉積機
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號: Picosun R-200
  • 產地:歐洲 芬蘭
  • 。氣動升降(手動裝載) 。預真空室安裝磁力操作機械手(Load lock ) 。半自動裝載,用PICOPLATFORM?200集群系統(tǒng)實現

P-200S Pro ALD 生產型原子層沉積機
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號:P-200S Pro
  • 產地:歐洲 芬蘭
P-300F,P-300BV 生產型原子層沉積機
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號:P-300F,P-300BV
  • 產地:歐洲 芬蘭
P-300S 生產線型原子層沉積機
  • 品牌:芬蘭Picosun
  • 型號:P-300S
  • 產地:歐洲 芬蘭
  • 半自動裝載,用單片Load lock與磁力操縱桿實現; 25片晶圓盒對盒式全自動裝載(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM? 300集群系統(tǒng)實現。