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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品:光刻機(jī)/3D打印機(jī),鍍膜沉積機(jī),離子刻蝕與沉積系統(tǒng),半導(dǎo)能檢測(cè)儀器,UV清洗設(shè)備
聯(lián)系電話:
13538131258
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英國(guó)Oxford 離子刻蝕/沉積/去膠機(jī)

 
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PlasmaPro 100 ALE牛津原子層刻蝕機(jī)
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmaPro 100 ALE
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • 我們的設(shè)備和工藝已通過充分驗(yàn)證,正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間可達(dá)90%以上,一旦設(shè)備安裝完畢,可立即投入使用。PlasmaPro 100系列市場(chǎng)應(yīng)用廣,包括但不限于: MEMS和傳感器、光電子、分立元器件和納米技術(shù)。...

PlasmaPro 100 Estrelas牛津深硅刻蝕系統(tǒng)
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmaPro 100 Estrelas
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • PlasmaPro 100 Estrelas 平臺(tái)旨在提供深硅蝕刻(DSiE)領(lǐng)域的全方位的靈活性以滿足微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)、 先進(jìn)封裝以及納米技術(shù)市場(chǎng)的各種工藝要求??紤]到研究和生產(chǎn)的市場(chǎng)發(fā)展...

Ionfab 300 IBE 牛津離子束刻蝕機(jī)
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):Ionfab 300 IBE
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • 離子束刻蝕的靈活性、均勻性俱佳且應(yīng)用范圍廣。我們的設(shè)備具有靈活的硬件選項(xiàng),包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對(duì)盒式模式。系統(tǒng)配置與實(shí)際應(yīng)用緊密協(xié)調(diào),以確保獲得速率更快且重復(fù)性更好的工藝結(jié)果。

PlasmaPro 80 PECVD牛津等離子沉積機(jī)
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmaPro 80 PECVD
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • · 小尺寸系統(tǒng)——易于安置 · 優(yōu)化了的電極冷卻——襯底溫度控制 · 高導(dǎo)通的徑向(軸對(duì)稱)抽氣結(jié)構(gòu)—— 確保提升了工藝均勻性和速率 · 增加了<500毫秒的數(shù)據(jù)記錄功能——可追溯腔室和工...

牛津OpAL 開放式樣品載入ALD設(shè)備
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):OpAL
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • 緊湊型開放式樣品載入原子層沉積(ALD)系統(tǒng) OpAL提供了專業(yè)的熱ALD設(shè)備,可以簡(jiǎn)單明了的升級(jí)使用等離子體,使得在同一緊湊設(shè)備中集成了等離子體和熱ALD。

PlasmaPro 80 ICP 英國(guó)牛津OXFORD 等離子體刻蝕機(jī)
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmaPro 80 ICP
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • PlasmaPro 80 ICP是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小型且使用方便的直開式系統(tǒng),可提供多種刻蝕解決方案。 它易于放置,便于使用,且能夠確保工藝質(zhì)量。直開式設(shè)計(jì)允許快速的進(jìn)行晶圓裝卸,是科學(xué)研究、原型設(shè)計(jì)和...

System 100 等離子刻蝕與沉積設(shè)備
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmalabSystem 100
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • 該設(shè)備是一個(gè)靈活和功能強(qiáng)大的等離子體刻蝕和淀積工藝設(shè)備。 采用真空進(jìn)樣室進(jìn)樣可進(jìn)行快速的晶片更換、采用多種工藝氣體并擴(kuò)大了允許的溫度范圍。 具有工藝靈活性,適用于化合物半導(dǎo)體,光電子學(xué),光子學(xué)...

PlasmaPro 80 RIE 牛津等離子體刻蝕機(jī)
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmaPro 80 RIE
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • PlasmaPro 80 RIE是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng),可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置,便于使用,且能確保工藝性能。直開式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)快速晶圓裝卸,是研究和小批量生...

PlasmaPro 80 ICPCVD 英國(guó)Oxford 牛津等離子沉積機(jī)
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmaPro 80 ICPCVD
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • PlasmaPro 80 ICPCVD是一種結(jié)構(gòu)緊湊且使用方便的小型直開式系統(tǒng),可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置,便于使用,且能夠確保工藝性能。直開式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)快速晶圓裝卸,是科學(xué)研究、...

Plasma Stripper (Asher) 等離子去膠機(jī)(灰化)
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):Plasma Stripper (Asher)
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • 。開放式設(shè)計(jì),可快速加載和卸載晶圓。 。基片放置在石英上,以避免濺射/再沉積電極材料 。通過頂部電極上的“蓮蓬頭”進(jìn)氣口將氣體注入工藝室 。電感耦合等離子體(ICP)和電極的獨(dú)立射頻發(fā)生器提供對(duì)...

英國(guó)Oxford 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaPro 800 RIE
  • 品牌:英國(guó)牛津
  • 型號(hào):PlasmaPro 800 RIE
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • 英國(guó)Oxford 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaPro 800 RIE,是結(jié)構(gòu)緊湊、且使用方便的直開式系統(tǒng),該系統(tǒng)為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應(yīng)離子蝕刻(RIE)工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的晶...

牛津深硅刻蝕系統(tǒng) PlasmaPro 100 Estrelas
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmaPro 100 Estrelas
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • 硬件設(shè)計(jì)使同一腔室中可進(jìn)行Bosch?和超低溫刻蝕工藝,使得納米和微米結(jié)構(gòu)刻蝕均可實(shí)現(xiàn); 兼容50mm至200mm的襯底 - 確保您只需一臺(tái)系統(tǒng),便具備從研發(fā)器件到量產(chǎn)的能力; 自動(dòng)匹配-擁有工藝...

英國(guó)牛津OXFORD 等離子體刻蝕機(jī) PlasmaPro 80 ICP
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmaPro 80 ICP
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • PlasmaPro 80 ICP 英國(guó)牛津OXFORD 等離子體刻蝕機(jī),是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小型且使用方便的直開式系統(tǒng),可提供多種刻蝕解決方案。 它易于放置,便于使用,且能夠確保工藝質(zhì)量。直開式設(shè)計(jì)允許快...

System 100 等離子刻蝕與沉積設(shè)備
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):System 100
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • 牛津OXFORD System 100 等離子刻蝕與沉積設(shè)備,具有工藝靈活性,適用于化合物半導(dǎo)體,光電子學(xué),光子學(xué),微機(jī)電系統(tǒng)和微流體技術(shù)。

牛津等離子體刻蝕機(jī) PlasmaPro 80 RIE
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmaPro 80 RIE
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • PlasmaPro 80 RIE 牛津等離子體刻蝕機(jī),是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng),可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置,便于使用,且能確保工藝性能。直開式設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)快速晶圓...

英國(guó)Oxford 牛津等離子沉積機(jī)
  • 品牌:牛津儀器
  • 型號(hào):PlasmaPro 80 ICPCVD
  • 產(chǎn)地:歐洲 英國(guó)
  • PlasmaPro 80 ICPCVD 英國(guó)Oxford 牛津等離子沉積機(jī),是一種結(jié)構(gòu)緊湊且使用方便的小型直開式系統(tǒng),可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置,便于使用,且能夠確保工藝性能。直開...