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全氟化表面活性劑在半導(dǎo)體酸蝕刻溶液中起潤(rùn)濕劑的作用酸蝕刻劑能夠在二氧化硅材質(zhì)上雕刻出細(xì)的劃痕在半導(dǎo)體的制作中,如果酸蝕刻劑的潤(rùn)濕性不好可能有氣泡生成,這些氣泡會(huì)附著在刻蝕表面,影響信號(hào)可以通過(guò)增加少量的表面活性劑減少氣泡的形成,從而提高溶液的潤(rùn)濕性

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