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儀器網(wǎng)/ 應用方案/ AU143 酸性鍍銅液中Cl-的測定（戴安公司）

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使用儀器：DX-600系統(tǒng) 酸性鍍銅液用于半導體晶片上沉積銅在這個過程中，需要監(jiān)測Cl-的濃度，對銅沉積的質(zhì)量非常重要與濕化學法比較，離子色譜法改善了測定速度和準確性酸性鍍銅液包含的典型組分是硫酸銅硫酸鹽酸和各種專用添加劑 賽默飛戴安ICS-900離子色譜儀

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