全自動(dòng)等離子去膠機(jī)（刻蝕機(jī)）：NANO-MASTER 等離子刻蝕和等離子灰化機(jī)是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用來(lái)滿足晶圓批處理或單晶片處理，具有廣泛應(yīng)用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說(shuō)可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。

全自動(dòng)等離子去膠機(jī)（刻蝕機(jī)）應(yīng)用：

• 有機(jī)物以及無(wú)機(jī)物的殘留物去除

• 光刻膠剝離或灰化

• 去殘膠以及內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應(yīng)用

• 清洗微電子元件，電路板上的鉆孔或銅線框架

• 提高黏附性，消除鍵合問(wèn)題

• 塑料的表面改型：O2處理以改進(jìn)涂覆性能

• 產(chǎn)生親水或疏水表面

標(biāo)簽：等離子清洗機(jī)等離子去膠機(jī)等離子刻蝕機(jī)