簡(jiǎn)介

陰較為熒光系統(tǒng)（Cathodoluminescence, CL）通常配置在掃描電鏡或透射電鏡中，能夠?qū)崿F(xiàn)形貌觀察、結(jié)構(gòu)和成分分析同陰較為熒光光譜的結(jié)合研究，實(shí)現(xiàn)全光譜熒光掃描成像。陰較為熒光激發(fā)所用的電子束束斑非常小，能量高；相比于光致發(fā)光（ Photoluminescence, PL）陰較為熒光具有高空間分辨、高激發(fā)能量、寬光譜范圍、大激發(fā)深度等特點(diǎn)，并能夠?qū)崿F(xiàn)全光譜熒光掃描成像。陰較為熒光系統(tǒng)結(jié)合掃描電子顯微鏡能夠在小尺度對(duì)半導(dǎo)體材料與器件、熒光材料（地質(zhì)、考古材料）等實(shí)現(xiàn)形貌觀察、結(jié)構(gòu)和成分分析同陰較為熒光光譜的結(jié)合研究，在半導(dǎo)體、微電子、材料、物理、地質(zhì)、考古等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。特別在微米、納米尺度的半導(dǎo)體量子點(diǎn)、量子線等熒光物質(zhì)的發(fā)光性質(zhì)及電子結(jié)構(gòu)的的研究領(lǐng)域，陰較為熒光技術(shù)具有重要的應(yīng)用價(jià)值。

技術(shù)能力

俞大鵬院士領(lǐng)導(dǎo)的研究團(tuán)隊(duì)利用這種超高空間分辨的陰較為熒光光譜技術(shù)系統(tǒng)開展了一系列國際領(lǐng)先的研究工作，主要包括1）研究了半導(dǎo)體納米/微米線材料的力電耦合性質(zhì)，應(yīng)變梯度對(duì)發(fā)光能量、精細(xì)電子結(jié)構(gòu)和激子輸運(yùn)動(dòng)力學(xué)機(jī)理的影響規(guī)律等非常有趣的應(yīng)變引起的物理效應(yīng)，他們正在進(jìn)一步研究應(yīng)變可能引起的玻色-愛因斯坦凝聚的新奇物理現(xiàn)象；2）利用這種高空間分辨的陰較為熒光光譜技術(shù)系統(tǒng)開展了金屬納米腔中表面等離激元（SPPs）的色散關(guān)系、模式分布規(guī)律及其物理起源。

主要功能

實(shí)現(xiàn)形貌觀察、結(jié)構(gòu)和成分分析同陰較為熒光光譜的結(jié)合研究

實(shí)現(xiàn)全光譜熒光掃描成像

實(shí)現(xiàn)全譜/單譜成像、光譜采集、陰較為熒光光譜面分布

應(yīng)用

氮化鎵基發(fā)光器件的陰較為熒光全譜成像（左圖）；氮化鎵基發(fā)光器件在不同激發(fā)能量下的陰較為熒光光譜特性（右圖）

彎曲ZnO 微米線（直徑1.8μm）CL 實(shí)驗(yàn)測(cè)量結(jié)果。a.樣品的SEM 圖片；b 和c，無應(yīng)變和彎曲部位的線掃CL測(cè)量結(jié)果；d.帶邊發(fā)光峰的移動(dòng)量隨橫截面內(nèi)應(yīng)變的變化

平滑銀金屬表面微腔結(jié)構(gòu)中的三維表面等離激元共振模式

DUV-LED器件的陰較為熒光全譜成像與光譜分析

工業(yè)用熒光粉（YAG）的陰較為熒光成像與光譜分析

半導(dǎo)體激光器器件

半導(dǎo)體微納結(jié)構(gòu)與器件

地質(zhì)材料