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離子束刻蝕 NIE-4000IBE離子束刻蝕系統(tǒng) 那諾-馬斯特
NIE-4000IBE離子束刻蝕系統(tǒng):如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物,這些金屬的刻蝕無法在RIE系統(tǒng)中完成。然而通過加速的Ar離子進(jìn)行物理刻蝕則是可能的。通常情況下,樣品表面采用厚膠作為掩模層,刻蝕期間富有能量的離子流會使得基片和光刻膠過熱。除非可以找到有效的方式消除熱量,否則光刻膠將變得非常難以去除。NANO-MASTER技術(shù)已經(jīng)證明了可以把基片溫度控制在50° C以內(nèi)。
那諾-馬斯特 NIE-3500(A)全自動IBE離子束刻蝕
是一款自動放片/取片,并且工藝過程為全自動計(jì)算機(jī)控制的緊湊型獨(dú)立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),可以用于表面清洗、表面處理、離子銑。
那諾-馬斯特 NIE-4000(M)IBE離子束刻蝕
如銅和金等金屬不含揮發(fā)性化合物,這些金屬的刻蝕無法在RIE系統(tǒng)中完成。然而通過加速的Ar離子進(jìn)行物理刻蝕則是可能的。通常情況下,樣品表面采用厚膠作為掩模層,刻蝕期間富有能量的離子流會使得基片和光刻膠過熱。除非可以找到有效的方式消除熱量,否則光刻膠將變得非常難以去除。
日本 離子束刻蝕系統(tǒng)Elionix
離子束刻蝕系統(tǒng)
美Nano-master IBM離子銑/IBE離子束刻蝕系統(tǒng)NIE-4000
IBM離子銑/IBE離子束刻蝕系統(tǒng): NIE-4000 獨(dú)立式 IBE 刻蝕系統(tǒng) NIE-3500 緊湊型獨(dú)立式 IBE 刻蝕系統(tǒng) NIR-4000 獨(dú)立式 IBE / RIE 雙刻蝕系統(tǒng) NIE-3000 臺式 IBE 刻蝕系統(tǒng)
美Nano-master IBM離子銑/IBE離子束刻蝕系統(tǒng)NIE-4000
IBM離子銑/IBE離子束刻蝕系統(tǒng): NIE-4000 獨(dú)立式 IBE 刻蝕系統(tǒng) NIE-3500 緊湊型獨(dú)立式 IBE 刻蝕系統(tǒng) NIR-4000 獨(dú)立式 IBE / RIE 雙刻蝕系統(tǒng) NIE-3000 臺式 IBE 刻蝕系統(tǒng)
美Nano-master IBM離子銑/IBE離子束刻蝕系統(tǒng)NIE-4000
IBM離子銑/IBE離子束刻蝕系統(tǒng): NIE-4000 獨(dú)立式 IBE 刻蝕系統(tǒng) NIE-3500 緊湊型獨(dú)立式 IBE 刻蝕系統(tǒng) NIR-4000 獨(dú)立式 IBE / RIE 雙刻蝕系統(tǒng) NIE-3000 臺式 IBE 刻蝕系統(tǒng)