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IBE離子束刻蝕機

本文由 深圳市藍星宇電子科技有限公司 整理匯編

2024-07-28 19:08 2807閱讀次數(shù)

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NANO-MASTER 的NIE-4000 反應離子束刻蝕系統(tǒng),通過加速的 Ar 離子進行物理刻蝕或銑削、配合活性氣體可以實現(xiàn)化學反應,可以增加離子束刻蝕的效率和選擇比。整個系統(tǒng)為獨立式的完整系統(tǒng),可以提供高均勻性高性能的 RIBE 刻蝕工藝。系統(tǒng)采用超凈設計,可支持百級超凈間使用。

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