資料庫
電子束光刻機(jī)（多功能超高精度電子束光刻機(jī)P21）
-
本文由 深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司 整理匯編
2022-09-05 22:02 8055閱讀次數(shù)
文檔僅可預(yù)覽首頁內(nèi)容，請(qǐng)下載后查看全文信息！
-
立即下載
電子束光刻機(jī)（多功能超高精度電子束光刻機(jī)P21）
依托壟斷性專利技術(shù)，百及納米推出國(guó)際領(lǐng)先的超高精度大面積寫場(chǎng)電子束光刻機(jī) P21 系列。 百及納米S次開發(fā)了新一代電子束光刻機(jī)的電子束閉環(huán)控制新原理。百及超高精度電子束光刻機(jī) P21 是第一款新一代電子束光刻機(jī)的代表，在著名電子束光刻機(jī)制造商德國(guó) Raith 公司的成熟機(jī)型上 升級(jí)而成。該系列主要包括 P21-2，P21-4 和 P21-6 三個(gè)型號(hào)，區(qū)別主要在于樣品尺寸（2，4，6 英寸晶圓）及擴(kuò)展使用功能。P21 不僅完整地保留了原電子束光刻機(jī)的整體功能，且集多項(xiàng)國(guó)際領(lǐng)先的關(guān) 鍵指標(biāo)于一身，包括：
? 國(guó)際上S次開發(fā)的新穎電子束閉環(huán)控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)電子束的原位檢測(cè)與校正;
? 國(guó)際領(lǐng)先的寫場(chǎng)拼接精度≤2 nm;
? 電子束光刻的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。精確校正電子束的空間漂移，將其位置穩(wěn)定性提高到≤10 nm/h； 有利于通過提高電子束光刻時(shí)間實(shí)現(xiàn)大尺寸圖形的曝光需求。
百及納米的 P21 系列以常規(guī)電子束光刻機(jī)為載體，通過獨(dú)家專利技術(shù)對(duì)其進(jìn)行功能及性能指標(biāo)的大幅提升。P21 光刻機(jī)組件均為德國(guó)原裝制造。
登錄或新用戶注冊(cè)
請(qǐng)用手機(jī)微信掃描下方二維碼
快速登錄或注冊(cè)新賬號(hào)
微信掃碼，手機(jī)電腦聯(lián)動(dòng)
更多資料
-
電子束光刻機(jī)（多功能超高精度電子束光刻機(jī)P21）- 電子束光刻機(jī)（多功能超高精度電子束光刻機(jī)P21）
依托壟斷性專利技術(shù)，百及納米推出國(guó)際領(lǐng)先的超高精度大面積寫場(chǎng)電子束光刻機(jī) P21 系列。 百及納米S次開發(fā)了新一代電子束光刻機(jī)的電子束閉環(huán)控制新原理。百及超高精度電子束光刻機(jī) P21 是第一款新一代電子束光刻機(jī)的代表，在著名電子束光刻機(jī)制造商德國(guó) Raith 公司的成熟機(jī)型上 升級(jí)而成。該系列主要包括 P21-2，P21-4 和 P21-6 三個(gè)型號(hào)，區(qū)別主要在于樣品尺寸（2，4，6 英寸晶圓）及擴(kuò)展使用功能。P21 不僅完整地保留了原電子束光刻機(jī)的整體功能，且集多項(xiàng)國(guó)際領(lǐng)先的關(guān) 鍵指標(biāo)于一身，包括：
? 國(guó)際上S次開發(fā)的新穎電子束閉環(huán)控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)電子束的原位檢測(cè)與校正;
? 國(guó)際領(lǐng)先的寫場(chǎng)拼接精度≤2 nm;
? 電子束光刻的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。精確校正電子束的空間漂移，將其位置穩(wěn)定性提高到≤10 nm/h； 有利于通過提高電子束光刻時(shí)間實(shí)現(xiàn)大尺寸圖形的曝光需求。
百及納米的 P21 系列以常規(guī)電子束光刻機(jī)為載體，通過獨(dú)家專利技術(shù)對(duì)其進(jìn)行功能及性能指標(biāo)的大幅提升。P21 光刻機(jī)組件均為德國(guó)原裝制造。[詳細(xì)]
-
2022-09-05 22:02
選購指南
-
探針電子束光刻機(jī)（掃描探針電子束光刻系統(tǒng)P-SPL21）- 公司推出的探針電子束光刻機(jī)P-SPL21,利用探針在近光刻膠表面發(fā)射低能電子的原理實(shí)現(xiàn)光刻效果。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)在于：
（1）幾乎無鄰近效應(yīng)，能實(shí)現(xiàn)3-5nm線寬的超精細(xì)光刻結(jié)構(gòu)；
（2）用于發(fā)射電子的探針同時(shí)具有原子力顯微鏡功能，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)精準(zhǔn)定位并原位測(cè)量曝光圖型；
（3）超高寫場(chǎng)拼接精度（≤2nm），且能夠抑制電子束長(zhǎng)時(shí)間產(chǎn)生的空間漂移（≤5nm）。
百及納米科技的探針電子束光刻系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)光刻與原子力顯微鏡表征的雙重功能，是一款理想的用于微納制造和表征尺寸小于5nm線寬結(jié)構(gòu)的一體化系統(tǒng)。[詳細(xì)]
-
2024-09-14 06:17
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- Nanonex光刻機(jī)/紫外光刻機(jī)
- Nanonex光刻機(jī)/紫外光刻機(jī)[詳細(xì)]
-
2024-09-14 13:44
課件
-
- 光刻機(jī)uv-kub 2-Brochure
- 光刻機(jī)uv-kub 2-Brochure[詳細(xì)]
-
2022-07-05 11:23
標(biāo)準(zhǔn)
-
- 光刻機(jī)uv-kub 3-Brochure
- 光刻機(jī)uv-kub 3-Brochure[詳細(xì)]
-
2024-09-19 23:59
標(biāo)準(zhǔn)
-
- 真空電子束焊接工藝研究
- 研究了8mm厚某鋁合金圓筒真空電子束對(duì)接焊接工藝，分析了各個(gè)焊接規(guī)范參數(shù)特征區(qū)域的特征，探討了特征參數(shù)與接頭性能之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，并通過一系列工藝試驗(yàn)，得出了該鋁合金筒真空電子束焊對(duì)接的**焊接規(guī)范參數(shù)。[詳細(xì)]
-
2018-07-10 15:29
期刊論文
-
- E-Beam Evaporation 電子束蒸發(fā)鍍膜
- E-Beam Evaporation 電子束蒸發(fā)鍍膜 產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
-
2022-07-18 15:41
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- 無掩膜光刻機(jī)
- 光刻機(jī)又名掩膜對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，是芯片制造流程中光刻工藝的核心設(shè)備。其主要用途是生產(chǎn)集成電路，將設(shè)計(jì)好的集成電路模板復(fù)刻到硅晶圓上，從而生產(chǎn)出微小、精確、高效率的集成電路。
根據(jù)光刻機(jī)的曝光方式，主要可以分為接觸式光刻機(jī)、接近式光刻機(jī)和直寫式光刻機(jī)，其中直寫式光刻機(jī)又可以依據(jù)其是否需要使用掩膜版細(xì)分為有掩膜和無掩膜兩種。無掩膜光刻機(jī)是一種不需要使用傳統(tǒng)掩膜版的光刻機(jī)，它通過直接對(duì)晶圓進(jìn)行曝光，實(shí)現(xiàn)圖案的轉(zhuǎn)移，能夠更快速地制造特定產(chǎn)品、降低成本，除了能夠滿足傳統(tǒng)的2D光刻需求外，還能實(shí)現(xiàn)2.5D光刻（即灰度光刻）。無掩膜光刻機(jī)不需要掩膜版、高度靈活的優(yōu)點(diǎn)，使其被廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究、定制化生產(chǎn)、快速原型制造、電子器件、生物醫(yī)藥、光學(xué)元件、微機(jī)械等領(lǐng)域。[詳細(xì)]
-
2024-09-15 17:53
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- 電子束感生電流 EBIC 技術(shù)
- 電子束感生電流 EBIC 技術(shù)[詳細(xì)]
-
2024-09-24 00:29
課件
-
- 紫外掩膜曝光光刻機(jī)
- 美國(guó)恩科優(yōu)N&Q系列光刻機(jī)（Mask Aligner)，是領(lǐng)xian的光刻系統(tǒng)，在光刻領(lǐng)域有超過35年的經(jīng)驗(yàn)，售出1000多套設(shè)備，為半導(dǎo)體制造和科研領(lǐng)域提供品質(zhì)優(yōu)良穩(wěn)定的全波段紫外光刻機(jī)系統(tǒng)，廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻工藝制程、微機(jī)電MEMS、二極管芯片、發(fā)光二極體（LED）芯片制造、生物器件、納米科技、顯示面板LCD、光電器件、奈米壓印以及電子封裝等諸多領(lǐng)域?？蛻羧缑绹?guó)航空航天公司、飛利浦、摩托羅拉、惠普、美國(guó)國(guó)家半導(dǎo)體公司、牛津大學(xué)、劍橋大學(xué)、斯坦福大學(xué)、倫敦大學(xué)、臺(tái)塑、墨爾本大學(xué)、華盛頓州立大學(xué)、方大集團(tuán)、大聯(lián)大集團(tuán)、光寶科技、漢磊股份、廈門乾照光電股份有限公司等等。[詳細(xì)]
-
2024-09-28 08:12
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- 淺析電子束加工工藝特點(diǎn)及其應(yīng)用
- 本文通過對(duì)電子束加工的原理及其工藝特點(diǎn)的介紹，闡述了電子束加工這種高速能束加工方式的發(fā)展?jié)摿Α２⑶彝ㄟ^對(duì)電子束加工在打孔，焊接，熱處理等方面的應(yīng)用的分析介紹，展現(xiàn)電子束加工在應(yīng)用方面所具有的特性。本文主要從這兩方面介紹電子束加工，體現(xiàn)其在加工方面的突出優(yōu)勢(shì)。[詳細(xì)]
-
2018-07-10 15:28
期刊論文
-
- 嵌入式超高精度薄膜測(cè)厚儀
- 嵌入式超高精度薄膜測(cè)厚儀，采用進(jìn)口高精度傳感器，嵌入式系統(tǒng)。適用于塑料薄膜、薄片、紙張、箔片、硅片等各種材料的厚度極ng確測(cè)量。思克測(cè)試，Morethanyourthink！關(guān)注SYSTESTER思克，登錄思克測(cè)試網(wǎng)站www.systester.com，了解更多包裝檢測(cè)儀器信息！[詳細(xì)]
-
2024-09-15 19:19
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- PED脈沖電子束沉積鍍膜系統(tǒng)產(chǎn)品樣冊(cè)
- PED脈沖電子束沉積鍍膜系統(tǒng)產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]
-
2016-10-18 14:55
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列 資料
- 法國(guó)KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機(jī)是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，可以直接放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，能夠處理Zda直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動(dòng)調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預(yù)熱，也不需要單獨(dú)的冷卻單元。另外，UV-KUB系列先進(jìn)的設(shè)計(jì)，保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性，其Z小分辨率可達(dá)2μm，Zda發(fā)散角小于2°
本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
?
[詳細(xì)]
-
2024-09-15 17:10
標(biāo)準(zhǔn)
-
- KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列 資料二
- 法國(guó)KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機(jī)是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，可以直接放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，能夠處理Zda直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動(dòng)調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預(yù)熱，也不需要單獨(dú)的冷卻單元。另外，UV-KUB系列先進(jìn)的設(shè)計(jì)，保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性，其Z小分辨率可達(dá)2μm，Zda發(fā)散角小于2°
本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
[詳細(xì)]
-
2024-09-15 17:11
標(biāo)準(zhǔn)
-
- 脈沖電子束產(chǎn)生的等離子體的時(shí)間分辨離子流量分析
- 脈沖電子束產(chǎn)生的等離子體的時(shí)間分辨離子流量分析[詳細(xì)]
-
2005-01-27 00:00
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- 脈沖電子束產(chǎn)生的等離子體的時(shí)間分辨離子通量分析
- 脈沖電子束產(chǎn)生的等離子體的時(shí)間分辨離子通量分析[詳細(xì)]
-
2024-09-23 22:09
操作手冊(cè)
-
- 超高精度微納3D打印設(shè)備
- 織雀?PL-3D 是托托科技自主研發(fā)的桌面式超高精度微納3D打印設(shè)備，光學(xué)精度達(dá)5μm。在復(fù)雜三維微納結(jié)構(gòu)、高深寬比微納結(jié)構(gòu)以及復(fù)合材料三維微納結(jié)構(gòu)制造方面具有突出的潛能和優(yōu)勢(shì)。[詳細(xì)]
-
2025-01-22 15:14
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- 電子束輻照對(duì)充氮包裝冷鮮牛肉品質(zhì)的影響
- 電子束輻照對(duì)充氮包裝冷鮮牛肉品質(zhì)的影響程述震，張春暉，張潔，解新方，王志東*（ZG農(nóng)業(yè)科學(xué)院農(nóng)產(chǎn)品加工研究所，北京100193）點(diǎn)擊下載原文：20160520110228752.pdf摘要：為探究電子束輻照對(duì)充氮包裝冷鮮牛肉品質(zhì)的影響，取6頭黃牛背Z長(zhǎng)肌，在高能電子加速器下輻照，4°C貯藏28天，評(píng)估不同輻照劑量（1.241、2.300、3.429kGy）和貯藏時(shí)間（0d、7d、14d、19d、22d、25d、28d）條件下微生物學(xué)，生物化學(xué)和感官特性的變化。試驗(yàn)組和對(duì)照組相比，菌落總數(shù)顯著性下降，在貯藏第0天，處理組的菌落總數(shù)分別下降了0.766、1.801、2.673lgCFU/g，差異顯著（p<0.05）；電子束輻照對(duì)牛肉樣的貯藏?fù)p失、色澤、pH值、脂肪氧化并未產(chǎn)生顯著性的影響，對(duì)TVB-N的影響較??；但感官評(píng)價(jià)分析發(fā)現(xiàn)，隨著輻照劑量的增加，色澤、氣味、接受性得分下降。綜合分析各品質(zhì)指標(biāo)，2.5kGy左右的低劑量電子束輻照可以在殺滅微生物的同時(shí)，較好的確保牛肉品質(zhì)，提高冷鮮牛肉的貨架期。關(guān)鍵詞：電子束輻照；冷鮮牛肉；充氮包裝；微生物學(xué)；生物化學(xué)；感官特性近年來，我國(guó)肉品種類和需求大幅增加，肉品工業(yè)呈現(xiàn)蓬勃發(fā)展之勢(shì)[1-3]。目前，我國(guó)生肉市場(chǎng)主要存在熱鮮肉、冷鮮肉和冷凍肉三種形式。與熱鮮肉、冷凍肉相比，冷鮮肉具有質(zhì)地柔軟、營(yíng)養(yǎng)價(jià)值高、汁液損失少等優(yōu)點(diǎn)，因此越來越多的受到消費(fèi)者的青睞[4]。但在牲畜屠宰、胴體分割及肉品加工過程中，肉品極易受到微生物的污染，而引起食源性疾病。雖然在整個(gè)生產(chǎn)流通環(huán)節(jié)，冷鮮肉始終處于低溫環(huán)境，一定程度上控制了微生物的生長(zhǎng)，但一些耐冷性微生物，如沙門氏菌和李斯特菌等，依然能夠正常的生長(zhǎng)繁殖，危害肉品品質(zhì)和安全，使其貨架期縮短，引發(fā)食物中毒等問題。目前，主要的殺菌方式包括腌漬、冷凍、高壓，氣調(diào)包裝等，而可應(yīng)用冷鮮肉的殺菌方式較少。食品輻照作為一種物理殺菌方式，可有效殺滅微生物，而不引起物料溫度的升高，因此被稱之為“冷殺菌”技術(shù)，在全世界多個(gè)國(guó)家的多種產(chǎn)品中被應(yīng)用。用于食品輻照的射線類型主要包括高能電子加速器產(chǎn)生電子束和60Co或者137Cs產(chǎn)生的γ射線，兩種射線在肉品保藏中均有應(yīng)用，但現(xiàn)有研究表明，在相同輻照劑量條件下，具有還原性的電子束和γ射線相比，引起的肉品氧化效應(yīng)較小[5]。因此，近年來電子束輻照在肉品中的研究和應(yīng)用越來越多。本試驗(yàn)將電子束輻照技術(shù)與充氮包裝相結(jié)合，在殺滅微生物的同時(shí)，確保冷鮮肉的品質(zhì)不會(huì)受到顯著性的影響，以解決冷鮮肉貨架期短的問題，為電子束輻照在冷鮮牛肉保鮮貯藏過程的應(yīng)用提供參考。1材料與方法1.1材料與試劑冷鮮牛肉背Z長(zhǎng)?。ㄍ饧梗?，購自....1.2儀器與設(shè)備:DIGIEYE數(shù)碼測(cè)色系統(tǒng)：英國(guó)VERIVIDE公司-上海韻鼎國(guó)際貿(mào)易有限公司；....1.3方法1.3.1樣品制備肉用黃牛經(jīng)卓宸畜牧有限公司商業(yè)化屠宰，4°C條件冷卻排酸3天，取6條冷鮮牛肉背Z長(zhǎng)肌，剔除可視脂肪、筋膜和筋鍵切成長(zhǎng)寬厚為5cm×4cm×1cm的肉片以確保輻照的均一性。記錄每份樣品的質(zhì)量，1**%N2包裝，置于4°C低溫冰箱中待第二天輻照。....1.3.6色澤測(cè)定用DIGIEYE數(shù)碼測(cè)色系統(tǒng)（電子眼）對(duì)樣品的表面色澤進(jìn)行測(cè)定，每組處理放在同一樣品盤中進(jìn)行測(cè)定。不規(guī)則選取整個(gè)樣品，記錄每個(gè)樣品的平均L*、a*值，每個(gè)樣品測(cè)定三次，取其平均值。....色澤是食品的一種基本物性，是評(píng)價(jià)冷鮮肉品質(zhì)的重要指標(biāo)，影響消費(fèi)者的購買欲[19]。L*(亮度參數(shù))和a*(紅度參數(shù))是評(píng)價(jià)冷鮮肉品質(zhì)的兩個(gè)重要參數(shù)[4]。不同電子束輻照劑量對(duì)充氮包裝冷鮮牛肉的色澤影響結(jié)果如圖3和圖4所示。由圖3可以看出，在貯藏初期輻照組的亮度值L*低于對(duì)照組，但隨著貯藏時(shí)間的延長(zhǎng)，對(duì)照組的亮度值L*逐漸低于了輻照組，原因可能是在貯藏初期輻照處理組肌紅蛋白氧化程度更大。由此可見隨著貯藏時(shí)間的增加，對(duì)照組和處理組的亮度值L*均逐漸變小，而對(duì)照組相比輻照處理組下降幅度更大。不同劑量的處理組之間存在顯著性差異，隨著貯藏時(shí)間的延長(zhǎng)，2.5kGy處理組的顏色較鮮艷。....3結(jié)論經(jīng)電子束輻照后，冷鮮牛肉中的細(xì)菌總數(shù)顯著性下降，輻照的劑量越高，殺菌效果越好。在28天的貯藏期內(nèi)，電子束輻照對(duì)冷鮮牛肉的貯藏?fù)p失，色澤，pH值，脂肪氧化并未產(chǎn)生顯著性的影響，對(duì)TVB-N的影響較小。但感官評(píng)價(jià)中發(fā)現(xiàn)隨著輻照劑量的增加，色澤、氣味、接受性得分下降。結(jié)合以上各指標(biāo)分析，建議牛肉在貯藏前可以用2.5kGy左右的低劑量電子束輻照以提高冷鮮牛肉的貨架期。[詳細(xì)]
-
2018-08-18 10:00
產(chǎn)品樣冊(cè)
Copyright 2004-2026 yiqi.com All Rights Reserved , 未經(jīng)書面授權(quán) , 頁面內(nèi)容不得以任何形式進(jìn)行復(fù)制
在線留言
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號(hào)
參與評(píng)論
登錄后參與評(píng)論