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KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列 資料二

本文由 北京燕京電子有限公司 整理匯編

2024-09-15 17:11 1563閱讀次數(shù)

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法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗,其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機(jī)是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng),結(jié)構(gòu)緊湊,可以直接放置在實(shí)驗臺上,能夠處理Zda直徑4英寸的晶圓,兼容硬接觸(接觸式)或者軟接觸(接近式)工藝,可自動調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要預(yù)熱,也不需要單獨(dú)的冷卻單元。另外,UV-KUB系列先進(jìn)的設(shè)計,保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性,其Z小分辨率可達(dá)2μm,Zda發(fā)散角小于2°
本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

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