本文由 深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司 整理匯編

2024-09-14 06:17 8094閱讀次數(shù)

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• 探針電子束光刻機(jī)（掃描探針電子束光刻系統(tǒng)P-SPL21）

  公司推出的探針電子束光刻機(jī)P-SPL21,利用探針在近光刻膠表面發(fā)射低能電子的原理實(shí)現(xiàn)光刻效果。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)在于： （1）幾乎無鄰近效應(yīng)，能實(shí)現(xiàn)3-5nm線寬的超精細(xì)光刻結(jié)構(gòu)； （2）用于發(fā)射電子的探針同時(shí)具有原子力顯微鏡功能，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級精準(zhǔn)定位并原位測量曝光圖型； （3）超高寫場拼接精度（≤2nm），且能夠抑制電子束長時(shí)間產(chǎn)生的空間漂移（≤5nm）。 百及納米科技的探針電子束光刻系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)光刻與原子力顯微鏡表征的雙重功能，是一款理想的用于微納制造和表征尺寸小于5nm線寬結(jié)構(gòu)的一體化系統(tǒng)。[詳細(xì)]

  2024-09-14 06:17

  產(chǎn)品樣冊

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• 電子束光刻機(jī)（多功能超高精度電子束光刻機(jī)P21）

  電子束光刻機(jī)（多功能超高精度電子束光刻機(jī)P21） 依托壟斷性專利技術(shù)，百及納米推出國際領(lǐng)先的超高精度大面積寫場電子束光刻機(jī) P21 系列。 百及納米S次開發(fā)了新一代電子束光刻機(jī)的電子束閉環(huán)控制新原理。百及超高精度電子束光刻機(jī) P21 是第一款新一代電子束光刻機(jī)的代表，在著名電子束光刻機(jī)制造商德國 Raith 公司的成熟機(jī)型上 升級而成。該系列主要包括 P21-2，P21-4 和 P21-6 三個(gè)型號，區(qū)別主要在于樣品尺寸（2，4，6 英寸晶圓）及擴(kuò)展使用功能。P21 不僅完整地保留了原電子束光刻機(jī)的整體功能，且集多項(xiàng)國際領(lǐng)先的關(guān) 鍵指標(biāo)于一身，包括： ? 國際上S次開發(fā)的新穎電子束閉環(huán)控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)電子束的原位檢測與校正; ? 國際領(lǐng)先的寫場拼接精度≤2 nm; ? 電子束光刻的長期穩(wěn)定性。精確校正電子束的空間漂移，將其位置穩(wěn)定性提高到≤10 nm/h； 有利于通過提高電子束光刻時(shí)間實(shí)現(xiàn)大尺寸圖形的曝光需求。 百及納米的 P21 系列以常規(guī)電子束光刻機(jī)為載體，通過獨(dú)家專利技術(shù)對其進(jìn)行功能及性能指標(biāo)的大幅提升。P21 光刻機(jī)組件均為德國原裝制造。[詳細(xì)]

  2022-09-05 22:02

  選購指南

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• 微區(qū)掃描探針電化學(xué)顯微系統(tǒng)

  微區(qū)掃描探針電化學(xué)顯微系統(tǒng)[詳細(xì)]

  2024-09-14 22:35

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  Dimension Edge 掃描探針顯微鏡系統(tǒng)產(chǎn)品樣冊[詳細(xì)]

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• 掃描探針顯微鏡SPM-9700HT產(chǎn)品樣冊

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  2016-10-19 17:19

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  布魯克 MultiMode 8掃描探針顯微鏡[詳細(xì)]

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  四點(diǎn)探針測試儀 四點(diǎn)探針 CDE[詳細(xì)]

  2024-09-28 13:20

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  Keysight 9500掃描探針顯微鏡產(chǎn)品樣冊[詳細(xì)]

  2016-10-18 14:58

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