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更多資料

• Nanonex光刻機/紫外光刻機

  Nanonex光刻機/紫外光刻機[詳細]

  2024-09-14 13:44

  課件

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• 紫外掩膜曝光光刻機

  美國恩科優(yōu)N&Q系列光刻機（Mask Aligner)，是領(lǐng)xian的光刻系統(tǒng)，在光刻領(lǐng)域有超過35年的經(jīng)驗，售出1000多套設(shè)備，為半導體制造和科研領(lǐng)域提供品質(zhì)優(yōu)良穩(wěn)定的全波段紫外光刻機系統(tǒng)，廣泛的應(yīng)用于半導體光刻工藝制程、微機電MEMS、二極管芯片、發(fā)光二極體（LED）芯片制造、生物器件、納米科技、顯示面板LCD、光電器件、奈米壓印以及電子封裝等諸多領(lǐng)域?？蛻羧缑绹娇蘸教旃?、飛利浦、摩托羅拉、惠普、美國國家半導體公司、牛津大學、劍橋大學、斯坦福大學、倫敦大學、臺塑、墨爾本大學、華盛頓州立大學、方大集團、大聯(lián)大集團、光寶科技、漢磊股份、廈門乾照光電股份有限公司等等。[詳細]

  2024-09-28 08:12

  產(chǎn)品樣冊

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• 電子束光刻機（多功能超高精度電子束光刻機P21）

  電子束光刻機（多功能超高精度電子束光刻機P21） 依托壟斷性專利技術(shù)，百及納米推出國際領(lǐng)先的超高精度大面積寫場電子束光刻機 P21 系列。 百及納米S次開發(fā)了新一代電子束光刻機的電子束閉環(huán)控制新原理。百及超高精度電子束光刻機 P21 是第一款新一代電子束光刻機的代表，在著名電子束光刻機制造商德國 Raith 公司的成熟機型上 升級而成。該系列主要包括 P21-2，P21-4 和 P21-6 三個型號，區(qū)別主要在于樣品尺寸（2，4，6 英寸晶圓）及擴展使用功能。P21 不僅完整地保留了原電子束光刻機的整體功能，且集多項國際領(lǐng)先的關(guān) 鍵指標于一身，包括： ? 國際上S次開發(fā)的新穎電子束閉環(huán)控制系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)電子束的原位檢測與校正; ? 國際領(lǐng)先的寫場拼接精度≤2 nm; ? 電子束光刻的長期穩(wěn)定性。精確校正電子束的空間漂移，將其位置穩(wěn)定性提高到≤10 nm/h； 有利于通過提高電子束光刻時間實現(xiàn)大尺寸圖形的曝光需求。 百及納米的 P21 系列以常規(guī)電子束光刻機為載體，通過獨家專利技術(shù)對其進行功能及性能指標的大幅提升。P21 光刻機組件均為德國原裝制造。[詳細]

  2022-09-05 22:02

  選購指南

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• 光刻機uv-kub 2-Brochure

  光刻機uv-kub 2-Brochure[詳細]

  2022-07-05 11:23

  標準

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• 光刻機uv-kub 3-Brochure

  光刻機uv-kub 3-Brochure[詳細]

  2024-09-19 23:59

  標準

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• 無掩膜光刻機

  光刻機又名掩膜對準曝光機，是芯片制造流程中光刻工藝的核心設(shè)備。其主要用途是生產(chǎn)集成電路，將設(shè)計好的集成電路模板復(fù)刻到硅晶圓上，從而生產(chǎn)出微小、精確、高效率的集成電路。 根據(jù)光刻機的曝光方式，主要可以分為接觸式光刻機、接近式光刻機和直寫式光刻機，其中直寫式光刻機又可以依據(jù)其是否需要使用掩膜版細分為有掩膜和無掩膜兩種。無掩膜光刻機是一種不需要使用傳統(tǒng)掩膜版的光刻機，它通過直接對晶圓進行曝光，實現(xiàn)圖案的轉(zhuǎn)移，能夠更快速地制造特定產(chǎn)品、降低成本，除了能夠滿足傳統(tǒng)的2D光刻需求外，還能實現(xiàn)2.5D光刻（即灰度光刻）。無掩膜光刻機不需要掩膜版、高度靈活的優(yōu)點，使其被廣泛應(yīng)用于科學研究、定制化生產(chǎn)、快速原型制造、電子器件、生物醫(yī)藥、光學元件、微機械等領(lǐng)域。[詳細]

  2024-09-15 17:53

  產(chǎn)品樣冊

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• 193nm紫外波前傳感器（512x512高相位分辨率）助力半導體/光刻機行業(yè)發(fā)展

  新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析儀!該波前傳感器采用Phasics公司技術(shù)-四波橫向剪切干涉技術(shù)，可以工作在190-400nm波段，消色差，具有2nm RMS的相位檢測靈敏度[詳細]

  2024-12-10 16:54

  其它

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• KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列 資料

  法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，可以直接放置在實驗臺上，能夠處理Zda直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預(yù)熱，也不需要單獨的冷卻單元。另外，UV-KUB系列先進的設(shè)計，保證了光源的準直性和均勻性，其Z小分辨率可達2μm，Zda發(fā)散角小于2° 本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。 ? [詳細]

  2024-09-15 17:10

  標準

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• 探針電子束光刻機（掃描探針電子束光刻系統(tǒng)P-SPL21）

  公司推出的探針電子束光刻機P-SPL21,利用探針在近光刻膠表面發(fā)射低能電子的原理實現(xiàn)光刻效果。該系統(tǒng)的主要特點在于： （1）幾乎無鄰近效應(yīng)，能實現(xiàn)3-5nm線寬的超精細光刻結(jié)構(gòu)； （2）用于發(fā)射電子的探針同時具有原子力顯微鏡功能，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級精準定位并原位測量曝光圖型； （3）超高寫場拼接精度（≤2nm），且能夠抑制電子束長時間產(chǎn)生的空間漂移（≤5nm）。 百及納米科技的探針電子束光刻系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)光刻與原子力顯微鏡表征的雙重功能，是一款理想的用于微納制造和表征尺寸小于5nm線寬結(jié)構(gòu)的一體化系統(tǒng)。[詳細]

  2024-09-14 06:17

  產(chǎn)品樣冊

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• KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列 資料二

  法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，可以直接放置在實驗臺上，能夠處理Zda直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預(yù)熱，也不需要單獨的冷卻單元。另外，UV-KUB系列先進的設(shè)計，保證了光源的準直性和均勻性，其Z小分辨率可達2μm，Zda發(fā)散角小于2° 本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。 [詳細]

  2024-09-15 17:11

  標準

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• Nanonex納米壓印

  Nanonex納米壓印[詳細]

  2013-01-09 00:00

  操作手冊

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• Nanonex納米壓印

  Nanonex納米壓印[詳細]

  2024-09-25 23:57

  產(chǎn)品樣冊

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• 紫外光耐氣候試驗箱/紫外箱/紫外試驗箱/紫外老化箱/紫外產(chǎn)品樣冊

  紫外光耐氣候試驗箱/紫外箱/紫外試驗箱/紫外老化箱/紫外產(chǎn)品樣冊[詳細]

  2016-10-19 17:13

  實驗操作

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• 紫外老化試驗箱

  紫外老化試驗箱[詳細]

  2012-10-31 00:00

  其它

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• 紫外分光光度計

  紫外分光光度計[詳細]

  2012-01-24 00:00

  產(chǎn)品樣冊

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• 紫外16585-1996

  紫外16585-1996[詳細]

  2012-06-28 00:00

  專利

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• 氙燈紫外

  產(chǎn)品用途：紫外光耐氣候試驗箱采用熒光紫外燈為光源，通過模擬自然陽光中的紫外輻射和冷凝，對材料進行加速耐候性試驗，以獲得材料耐候性的結(jié)果。本機用于豐非金屬材料、有機材料（如：涂料、油漆、橡膠、塑膠及其制品），經(jīng)在陽光、濕度、溫度、凝露等氣候條件的變化下檢驗有關(guān)產(chǎn)品及材料老化現(xiàn)象程度。在短時間內(nèi)得到變色，退色等情況。型號ZN-P工作室尺寸:D×W×H450×1170×500單位:mm　型號ZN-L工作室尺寸:D×W×H450×600×500單位:mm　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　一、紫外光耐氣候試驗箱技術(shù)規(guī)格1、溫度范圍：RT+10℃～70℃2、濕度范圍：≥95%R.H3、溫度波動度：≤±0.5℃4、溫度均勻度：≤±2℃5、濕度波動度：≤±2%6、濕度均勻度：≤±2%7、黑板溫度：40℃～65℃8、燈管間距離：35mm9、樣品與燈管距離：50mm10、燈管功率：40W11、紫外波長：290nm～400nm（訂貨時說明）12、模擬凝露：凝露系統(tǒng)時間可調(diào)13、紫外光暴露、模擬凝露時間范圍：0～99小時14、支持樣板：150×75（mm）15、樣板數(shù)量：約40塊16、試驗時間：0～9999H可調(diào)17、輻照度范圍：≤50w/m2二、箱體制作材料：1、箱體外殼材料：進口SUS不銹鋼板噴塑處理。2、內(nèi)膽材料：進口SUS不銹鋼板3、箱蓋材料：進口SUS不銹鋼板噴塑處理。4、在工作室的兩邊共安裝8支UV－B的紫外燈管5、加熱方式為內(nèi)膽水槽式加熱，升溫快，溫度分布均勻6、箱蓋為雙向翻蓋式，開閉輕松自如7、內(nèi)膽水位自動補水8、試樣架由襯墊和伸張彈簧組成，均采用鋁合金材料制成。9、紫外光耐氣候試驗箱底部采用高品質(zhì)可固定式PU活動輪10、排水系統(tǒng)使用回渦型及U型積沉裝置排水11、試樣表面與紫外燈平面距離為50毫米且相平行三、光源1、紫外光耐氣候試驗箱光源采用8支額定功率為40W的國產(chǎn)紫外熒光燈作發(fā)光源。紫外線熒光燈管，分布在機器的兩側(cè)，每側(cè)各4支。有UVA-340和UVB-313光源供用戶選擇配置。（任選一種）2、UVA-340燈管的發(fā)光光譜能量主要集中在340nm的波長處3、UVB-313燈管的發(fā)光光譜主要集中在313nm波長附近。4、由于熒光燈光能量輸出會隨時間而逐步衰減，為了減小因光能量衰減造成試驗的影響，所以本試驗箱在所有的八支燈管中每隔1/4的熒光燈壽命時，由一支新燈管替換一支舊燈管，這樣，紫外光源始終由新燈和舊燈組成，從而得到一個輸出恒定的光能量。5、燈管有效使用壽命可在500小時左右（進口燈管1600～1800小時左右。）四、控制儀表設(shè)備選用進口LED數(shù)顯PID溫度智能控制儀，控溫精度高且穩(wěn)定性好。五、紫外光耐氣候試驗箱符合標準GB/T14522-93GB/T16422.3-1997GB/T16585-96；等現(xiàn)行紫外線老化試驗標準。紫外光耐氣候試驗箱售后服務(wù)保修壹年,終生維護定期回訪，聽取客戶建議，建立客戶服務(wù)檔案；提供終身免費的技術(shù)支持及使用指導服務(wù)，我公司承諾，對客戶的電話，我方1小時內(nèi)作出反應(yīng)，需要派技術(shù)服務(wù)人員到現(xiàn)場解決的，我方承諾在24小時內(nèi)派出人員（特殊情況如法定假日等除外）武漢中科萬通儀器有限公司TEL:027-85827958（總機）FAX:027-85827978H.P:18971243067http://www.hbzkwt.comhttp://www.zkwtyq.comhttp://www.whzkwt.com公司地址：武漢市江漢區(qū)友誼路101號產(chǎn)品用途：SN型氙燈試驗箱（風冷）采用能模擬全陽光光譜的氙弧燈來再現(xiàn)不同環(huán)境下存在的破壞性光波，可以為科研、產(chǎn)品開發(fā)和質(zhì)量控制提供相應(yīng)的環(huán)境模擬和加速試驗。SN型氙燈試驗箱可用于新材料的選擇、改變現(xiàn)有材料或評估材料組成變化后耐用性的變化試驗，可以很好的模擬在不同環(huán)境條件下，材料暴露在陽光下所產(chǎn)生的變化。通過材料試樣暴露在氙弧燈的光照及熱輻射下進行老化試驗.來評價在高溫光源作用下某些材料的耐光、耐候性能.主要用于汽車、涂料、橡膠、塑膠、顏料、粘合劑、織物等.執(zhí)行標準：氙燈耐氣候試驗箱嚴格按GB14049-1993的技術(shù)參數(shù)設(shè)計制造。同時符合GB/T9344-88、GB2423.24-95、GB/T2424.14-95等對應(yīng)的技術(shù)參數(shù)要求。型號:SN-900工作室尺寸:D950×W950×H850單位：MM型號:SN-500工作室尺寸:D500×W760×H500溫度范圍:RT+10℃~80℃溫度波動度:±0.5℃溫度均勻度:±2.0℃氙燈燈源:進口水冷式燈管降雨時間:0~9999min，連續(xù)降雨可調(diào)降雨周期:0~240min，間隔（斷）降雨可調(diào)噴水周期（噴水時間/不噴水時間）:18min/102min或12min/48min淋雨水壓:0.12～0.15Mpa噴水嘴孔徑:Ф0.8mm氙燈功率:5.4KW加熱功率:2KW加濕功率:1.5KW樣品架與燈距離:300~375mm波長:290~800nm光照周期連續(xù)可調(diào)，累計輻射量:14000~67000KJ/m2箱體制作材料：氙燈耐氣候試驗箱設(shè)計wan美，箱體采用數(shù)控機床加工成型，并采用無反作用把手，操作容易。內(nèi)膽為優(yōu)質(zhì)鏡面不銹鋼板，外殼為A3板噴塑處理，更顯光潔、美觀。保溫系統(tǒng)保溫系統(tǒng)采用超細玻璃纖維填充保溫區(qū)，內(nèi)外膽連接部位采用非金屬耐高、低溫材料，有效降低溫度傳導；箱門密封采用精制硅橡膠，從而在高、低溫下不存在老化及硬化現(xiàn)象。光照系統(tǒng)黑板溫度計：金屬黑板溫度計；控制執(zhí)行系統(tǒng)進口數(shù)顯溫度控制儀；進口小型可編程控制器；法國"施耐德"執(zhí)行元器件；氙燈耐氣候試驗箱的制冷系統(tǒng)采用法國原裝"泰康"全封閉風冷制冷壓縮機組；蒸發(fā)器采用鰭片式多段式；其它制冷附件如干燥過濾器、冷媒流量視窗、修理閥、油分離器、電磁閥、貯液筒均采用進口原裝件；保護系統(tǒng)整機保護系統(tǒng)由超溫保護、缺水斷電保護、超壓及報警裝置構(gòu)成。保證了執(zhí)行元器件及試件的完好。免費送貨上門，并安裝調(diào)試操作介紹（直到需方員工獨立操作并滿意為止）我公司的試驗設(shè)備現(xiàn)以通過國家環(huán)境試驗設(shè)備檢測ZX檢測合格。武漢中科萬通儀器有限公司TEL:027-85827958（總機）FAX:027-85827978H.P:18971243067http://www.hbzkwt.com/http://www.zkwtyq.comhttp://www.whzkwt.com公司地址：武漢市江漢區(qū)友誼路101號[詳細]

  2018-10-20 10:00

  產(chǎn)品樣冊

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• UV-A340紫外燈管和UA-B313紫外燈管區(qū)別

  UV-A340紫外燈管和UA-B313紫外燈管區(qū)別[詳細]

  2013-03-18 00:00

  操作手冊

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