德國布魯克 3D OPTICAL PROFILOMETER ContourX-1000
德國布魯克 三維光學(xué)輪廓儀NPFLEX-1000
德國布魯克 三維光學(xué)輪廓儀ContourX-1000
德國布魯克 三維光學(xué)輪廓儀ContourX-100
德國布魯克 三維光學(xué)輪廓儀ContourX-200
產(chǎn)品介紹:
ContourGT表面計量系列產(chǎn)品
用于生產(chǎn)和研發(fā)的非接觸式三維光學(xué)輪廓儀
業(yè)界zui高垂直分辨率
ji高的可靠性和zui好的測量重復(fù)性
zui高的表面測量和分析速度
zui強的使用性,操作簡便,分析功能強大
30年技術(shù)革新,實現(xiàn)非接觸式表面測量技術(shù)高峰
0.5倍至200倍的放大倍率,在極寬的測量范圍內(nèi),對樣品表面形狀和紋理進行表征。
任何倍率下亞埃級至毫米級垂直測量量程提供了無以倫比的測量靈活性。
高分辨率攝像頭可選配件,提高了橫向分辨率和GR&R測量的重復(fù)性。
新的軟件設(shè)計使數(shù)據(jù)處理速度提高幾十倍。
多核處理器和64位軟件使數(shù)據(jù)分析速度提高十倍。
無以倫比的無縫拼接能力,可以把成千上萬個數(shù)據(jù)拼接成一張連續(xù)的wan美圖像
測量硬件的獨特設(shè)計增強生產(chǎn)環(huán)境中的可靠性和重復(fù)性
高亮度的雙LED照明ZG技術(shù)提高測量質(zhì)量。
zui佳化的硬件設(shè)計提高了儀器對震動的容忍度和GR&R測量的能力。
ZG的自動校準(zhǔn)能力確保了儀器與儀器之間的相關(guān)性,測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性。
高度直觀的用戶界面,擁有業(yè)界zui強的操作簡便和分析功能強大
優(yōu)化的用戶界面大大簡化測量和數(shù)據(jù)分析過程,從而提高儀器和操作者效率
獨特的可視化操作工具為用戶提供易于學(xué)習(xí)和使用的數(shù)據(jù)分析選項
用戶可自行設(shè)置數(shù)據(jù)輸出的界面
ContourGT-X光學(xué)輪廓儀配備有一體式的氣動平臺和雙層金屬鑄件,此兩種設(shè)計都是為了隔離震動以避免干擾測量效果,從而獲得快速、精確的、可通過GRR測試的測量結(jié)果。
OMM結(jié)合了BrukerZG的雙LED照明光源技術(shù),在任何樣品任意放大倍數(shù)下均可提供zhuo越的照明強度和均勻性。OMM還能在整個10mm測量量程內(nèi)提供無以倫比的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。馬達驅(qū)動的多放大倍率檢測器可包含zui大三個視場目鏡,以zui大化放大倍率的靈活性和穩(wěn)定性。
ContourGT系列可選擇型號中,具有包含BrukerZG技術(shù)的內(nèi)置一級標(biāo)準(zhǔn)自校準(zhǔn)功能的能力,使得閉環(huán)掃描的性能zui大化。此模塊包含一個參考信號,在儀器啟動時對系統(tǒng)進行自校準(zhǔn),然后連續(xù)監(jiān)控并校正每次測量,以保證jue對的精確度和zhuo越的重復(fù)性。
Bruker的傾斜調(diào)整支架設(shè)計可使得OMM傾斜,而不是樣品傾斜。這樣,被測量的樣品將總處于聚焦位置,并且在測量的視野中,確保了操作的一致性和簡易性。
*這些選項僅在ContourGT-X3和/ContourGT X8型號上具有。
在ContourGT-X型號中具有全自動的8英寸或12英寸樣品臺。兩種樣品臺均配備有0.5um重復(fù)性的編碼器。ContourGT-K1型具有可選的6英寸馬達驅(qū)動樣品臺。還可選配具有Z方向聚焦旋鈕的XY操縱桿。
選配的馬達驅(qū)動塔臺可安裝zui多4個干涉物鏡,從1倍至100倍。塔臺設(shè)計確保了當(dāng)您切換物鏡時,您的測試點始終處于聚焦和zhong心位置。
在防震臺的后面配備有一個LED光源以幫助樣品聚焦和確保操作可觀度。
輔助操作燈泡*
塔臺
自動樣品臺
傾斜調(diào)整支架*
自校準(zhǔn)功能*
光學(xué)計量模塊(OMM)
zhuo越的震動隔離性能*
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已咨詢7932次輪廓儀
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Zeta-300支持3D量測和成像的功能,并提供整合隔離工作臺和靈活的配置,可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot?技術(shù),可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color(真彩)無限遠焦點圖像。Zeta-300具備Multi-Mode(多模式)光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、以及低擁有成本,適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和先進的光學(xué)系統(tǒng)以及加強視頻控制。
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晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量,結(jié)合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。