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產(chǎn)品特點：

ContourX- 200光學輪廓儀完美融合了高級表征、可定制選項和易用性,可提供一流的快速、準確和可重復的非接觸式三維表面計量方法。該設(shè)備作為可用于計量的小尺寸系統(tǒng),配置了大視場的5百萬像素攝像頭和新型電動XY載物臺,可提供高性能的的2D / 3D高分辨率測量功能。

1. 超強 LED 雙光源，白光和綠光
2. 垂直測量范圍： 0.1nm 至 10mm；為了保證測量精確性，全量程閉環(huán)掃描，可連續(xù)測量0.1nm 到 10mmZ 向起伏樣品，無需縫合拼接
3. 垂直方向的分辨率：≤0.1nm；
4. RMS 測量的重復性：0.01nm；
5. 臺階高度測量準確性：≤0.75%；
6. 臺階高度測量重復性：≤0.1%；
7. 測量臺：X-Y 行程 150mm×150mm，自動控制；Z 方向最大行程 100mm，自動控制; 測量臺傾斜俯仰(±6°)；
8. 最大樣品測試高度：100mm；
9. 采樣點數(shù)：≥1280*960；
10. 真彩色模塊，含彩色 CCD 攝像頭和彩色分析模塊，實現(xiàn)樣品真彩色三維形貌測量。
11. 橫向分辨率：≤0.5μm
12. 樣品反射率：<0.05%至 100%；
13. 具備自動聚焦功能，自動調(diào)光強功能
14. 具有無縫拼接功能，專利設(shè)計螺旋拼接，可以提高拼接速度，節(jié)省測試時間。
15. 自動目鏡切換系統(tǒng)，可選 1x，0.55x, 2x 目鏡（至少選擇一個鏡頭）
16. 5 孔自動物鏡塔臺（選配）
17. 白光干涉物鏡 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x （至少選擇一個鏡頭）
18. 真彩色模塊信號采集系統(tǒng)，分辨率 1280*960
19. 配備超光滑 Si-C 樣品和帶 8um 臺階樣品

產(chǎn)品詳情：

ContourX-200光學輪廓儀融合了高級表征、可定制選項和易用性，可提供快速、準確和可重復的非接觸式三維表面計量方法。該設(shè)備作為可用于計量的小尺寸系統(tǒng)，配置了大視場的5百萬像素攝像頭和新型電動XY載物臺，可提供高性能的的2D / 3D高分辨率測量功能。

image.ContourX-500-3D-Optical-Profilometer-BRUKER.png

ContourX-200還配有業(yè)界先進的操作和分析軟件Vision64。VisionXpress?提供了更易于使用的界面和簡潔的功能，可訪問多種預編程濾鏡和分析工具，用于精密加工的表面，薄膜，半導體，眼科，醫(yī)療設(shè)備，MEMS和摩擦學等領(lǐng)域的測量分析，可用于表面粗糙度，RDLxian進封裝工藝厚度等測試。

測量與分析功能

·易于使用的界面，可快速準確地獲得結(jié)果

·自動化功能用于日常測量和分析

·廣泛的濾鏡和分析工具選項，用于粗糙度和關(guān)鍵尺寸測量分析

·滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標準在內(nèi)的定制化分析報告

先進計量設(shè)備

·基于超過四十年的專有WLI創(chuàng)新，ContourX-200光學輪廓儀展現(xiàn)出定量計量所需的低噪聲、快速、精度的準確結(jié)果。

·通過使用多個鏡頭和集成的特征識別功能，設(shè)備可以在各種視野內(nèi)以亞納米垂直分辨率跟蹤特征，可用于各種不同行業(yè)中的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控應用。

·ContourX-200對于反射率從0.05％到100％的各種表面都非常易于測量。

高性能表面計量

·放大倍率無關(guān)的Z軸分辨率

·大尺寸的標準視場

·穩(wěn)定集成防震設(shè)計

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