探針式輪廓儀（臺階儀）Alpha-Step D-600
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探針式輪廓儀（臺階儀）-P-7
探針式輪廓儀（臺階儀）-P-17
反射膜厚儀 -無損膜厚測量方案F20
橢偏儀-SE2000光譜式橢偏儀Semilab
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和先進的光學系統(tǒng)以及加強視頻控制。
產(chǎn)品描述
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量，以及翹曲度和應力的2D測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。
主要功能
· 臺階高度：幾納米至1200μm
· 低觸力：0.03至15mg
· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
· 梯形失真校正：消除側視光學系統(tǒng)引起的失真
· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
· 緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀
· 軟件：用戶友好的軟件界面
主要應用
· 臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度
· 紋理：2D粗糙度和波紋度
· 形式：2D翹曲和形狀
· 應力：2D薄膜應力
工業(yè)應用
· 大學，研究實驗室和研究所
· 半導體和復合半導體
· SIMS：二次離子質(zhì)譜
· LED：發(fā)光二極管
· 太陽能
· MEMS：微電子機械系統(tǒng)
· 汽車
· 醫(yī)療設備
· 還有更多：請與我們聯(lián)系并探討您的要求
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已咨詢59次探針式輪廓儀（臺階儀）
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已咨詢59次探針式輪廓儀（臺階儀）
Zeta-300支持3D量測和成像的功能，并提供整合隔離工作臺和靈活的配置，可用于處理更大的樣品。該系統(tǒng)采用ZDot?技術，可同時采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠焦點圖像。Zeta-300具備Multi-Mode（多模式）光學系統(tǒng)、簡單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。
P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和先進的光學系統(tǒng)以及加強視頻控制。
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晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現(xiàn)晶圓的非接觸式測量，結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現(xiàn)晶圓形貌的亞微米級精度的測量，該系統(tǒng)適用于晶圓多種材質(zhì)的晶圓，包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等；
晶圓幾何形貌及參數(shù)自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數(shù)的自動晶圓形貌檢測及分選機。
營業(yè)執(zhí)照已審核
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