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成都真空設(shè)備廠家 surpass大口徑等離子刻蝕機(jī) 半導(dǎo)體刻蝕 離子束刻蝕 反應(yīng)離子刻蝕 可定制

¥1000000 (具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn))
超邁光電 CM-015 四川 成都 2026-04-14 12:32:27
售全國(guó) 入駐:4年 等級(jí):認(rèn)證 營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
同款產(chǎn)品: 干法刻蝕系統(tǒng)(2件)
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產(chǎn)品詳情:

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●本設(shè)備主要用于半導(dǎo)體刻蝕,能夠兼容離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕功能,使用氣態(tài)化學(xué)刻蝕劑與材料產(chǎn)生反應(yīng)來(lái)進(jìn)行刻蝕,并形成可從襯底上移除的揮發(fā)性副產(chǎn)品,通過(guò)真空系統(tǒng)排出,特別適合刻蝕熔融石英、硅、光刻膠、聚酷亞胺( PI) 薄膜、金屬等材料。


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