圖1 氣體傳感器的應(yīng)用示意圖及HEMT器件的結(jié)構(gòu)圖和實(shí)物圖

圖2 在120℃和200℃下HEMT對(duì)H2和NH3的響應(yīng)程度

圖3 HEMT傳感器對(duì)1-100 ppmNH3的響應(yīng)及在半年內(nèi)對(duì)100ppm的持續(xù)記錄

√ 快速升溫的高溫場(chǎng)能夠促進(jìn)金屬層的熱擴(kuò)散，獲得更低的接觸電阻，形成歐姆接觸；

√ 精準(zhǔn)控溫能夠提高歐姆接觸的穩(wěn)定性，具有高重復(fù)性、高穩(wěn)定性的歐姆接觸。

√ 氣氛填充有助于避免金屬電極的高溫氧化，降低表面電阻率，或者不同流速的調(diào)控可以對(duì)反應(yīng)速率進(jìn)行細(xì)微控制。

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