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PHI公司的PHI 710掃描俄歇納米探針是一臺設計獨特的高性能的俄歇電子能譜(AES)儀器。該設備能分析納米級特征區(qū)域,超薄薄膜和多層結構表界面的元素態(tài)和化學態(tài)信息。
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俄歇電子能譜
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