俄歇電子能譜，英文名Auger electron spectroscopy，AES是它的簡(jiǎn)稱，是一種材料科學(xué)與表面科學(xué)的分析技術(shù)。俄歇電子能譜之所以如此命名是因?yàn)樵摷夹g(shù)主要通過(guò)俄歇效應(yīng)進(jìn)行分析。其他外層電子吸收受激發(fā)的原子的外層電子跳到低能階所放出的能量從而使其從原子逃脫離開(kāi)，這一連串事件叫做俄歇效應(yīng)，俄歇電子則為逃脫出來(lái)的電子。

能量公式

對(duì)于原子序數(shù)為Z的原子,能夠使用下面經(jīng)驗(yàn)公式來(lái)計(jì)算俄歇電子的能量：

EWXY(Z)=EW(Z)-EX(Z)-EY(Z+ Δ)-Φ

在公式當(dāng)中，Y電子電離所需的能量用EY(Z+Δ)來(lái)表示；X電子填充W空穴時(shí)釋放的能量用EW(Z)-EX(Z)來(lái)表示；原子序數(shù)為Z的原子，W空穴被X電子填充得到的俄歇電子Y的能量用EWXY(Z)來(lái)表示。

由于Y電子是在已經(jīng)有一個(gè)空穴的情況下電離的，所以該電離能和原子序數(shù)為Z和Z 1之間的原子的電離能差不多。其中Δ=1/2-1/3。各俄歇電子的能量能夠按照式(10.6)和各元素的電子電離能計(jì)算出來(lái)，將譜圖手冊(cè)制成。所以只要將俄歇電子的能量測(cè)定出來(lái)，和現(xiàn)有的俄歇電子能量圖表相對(duì)照，就能夠使樣品表面的成份得以確定。

因?yàn)橐淮坞娮邮芰恳仍觾?nèi)層軌道的能量高出許多，能夠?qū)⒍鄠€(gè)內(nèi)層電子激發(fā)出，會(huì)有多種俄歇躍遷產(chǎn)生，所以會(huì)有多組俄歇峰在俄歇電子能譜圖上。盡管會(huì)使得定性分析變得復(fù)雜，然而憑借多個(gè)俄歇峰，會(huì)使定性分析具有非常高的準(zhǔn)確性，能夠使除氫氦之外的多元素一次定性分析進(jìn)行，與此同時(shí)，元素的半定量分析還能夠通過(guò)俄歇電子的強(qiáng)度和樣品中原子濃度的線性關(guān)系進(jìn)行。俄歇電子能譜法為一種具有非常高靈敏度的表面分析方法。1.0-3.0納米為其信息深度。jue對(duì)靈敏度能夠達(dá)到10-3單原子層。作為一種分析方法，其非常的有用。

還可以利用俄歇電子的強(qiáng)度和樣品中原子濃度的線性關(guān)系,進(jìn)行元素的半定量分析,俄歇電子能譜法是一種靈敏度很高的表面分析方法。其信息深度為1.0-3.0納米,jue對(duì)靈敏可達(dá)到10-3單原子層。是一種很有用的分析方法。