※ 主要應用于薄膜成分、半導體和金屬中的氧化物分析、集 成電路污染 濺射層的表征、沉積層深度剖面等領域，并 實現各種材料催化、吸附、腐蝕及磨損等方面的研究。 

※ 緊湊型設計。 

※ 柱面鏡分析儀的二階聚焦提供了良好的傳輸和分辨率。 

※ 易于使用，USB通信接口便于數據獲取和分析。 

※ 3kV 共軸電子槍，使用CeBix 燈絲，提供大電流密度，便 于信號分析。 

※ 反應離子刻蝕。