俄歇電子能譜，英文名Auger electron spectroscopy，AES是它的簡(jiǎn)稱(chēng)，是一種材料科學(xué)與表面科學(xué)的分析技術(shù)。俄歇電子能譜之所以如此命名是因?yàn)樵摷夹g(shù)主要通過(guò)俄歇效應(yīng)進(jìn)行分析。其他外層電子吸收受激發(fā)的原子的外層電子跳到低能階所放出的能量從而使其從原子逃脫離開(kāi)，這一連串事件叫做俄歇效應(yīng)，俄歇電子則為逃脫出來(lái)的電子。

歷史

在最近的十年里，固體表面分析方法發(fā)展的速度相當(dāng)?shù)目欤湟呀?jīng)成為分析化學(xué)領(lǐng)域中zui活躍的分支之一了。微型電子器件研制、材料科學(xué)以及催化研究等有關(guān)領(lǐng)域內(nèi)對(duì)各種固體表面現(xiàn)象的了解的迫切需要帶動(dòng)了它的發(fā)展。由于建立了各種表面分析方法，很有利的條件被創(chuàng)造提供給了這些領(lǐng)域。

俄歇電子能譜在表面組分分析方法中是除化學(xué)分析用電子能譜以外zui重要的一種。到目前為止，其已經(jīng)在化學(xué)、物理、半導(dǎo)體、電子、冶金等有關(guān)研究領(lǐng)域中得到了非常廣泛地應(yīng)用。

盡管俄歇電子的徑跡早已在1925年被法國(guó)人俄歇在威爾遜云室內(nèi)di一次發(fā)現(xiàn)，在1953年，蘭德從二次電子能量分布曲線中將俄歇電子譜線辨認(rèn)出來(lái)，可是因?yàn)槎硇娮幼V線有著較低的強(qiáng)度，其常常在非彈性散射電子的背景中被淹沒(méi)，因此非常不容易將其檢測(cè)出來(lái)。六十年代末期，因?yàn)榈湍茈娮友苌涞碾娮庸鈱W(xué)系統(tǒng)以及電子能量分布函數(shù)的微分法被采用，才使得檢測(cè)俄歇電子的儀器技術(shù)有所突破。1969 年在AES譜儀上應(yīng)用了圓筒形電子能量分析器，使分析的速度和靈敏度得到了進(jìn)一步的提高。七十年代以來(lái)，作為強(qiáng)有力的固體表面化學(xué)分析方法，AES已得到了迅速地發(fā)展。