用于客戶集成的迷你AFM

客戶集成的理想選擇

自動(dòng)連續(xù)測(cè)量

靈活應(yīng)對(duì)龐大的、沉重的或彎曲的樣品

表面形貌是許多高科技材料表面的重要特性,其可能低至幾納米,表面粗糙度不到一納米。原子力顯微鏡可以在正常環(huán)境條件下輕松分析這些特征。大多數(shù)原子力顯微鏡在它們可以處理的樣品的類型和大小上受到限制。Nanosurf的NaniteAFM是原子力顯微鏡集成市場(chǎng)的解決方案,對(duì)樣品尺寸的限制非常小。

NaniteAFM采用針尖掃描內(nèi)置頂視與側(cè)視雙光學(xué)輔助系統(tǒng)和一個(gè)自動(dòng)逼近馬達(dá)，結(jié)構(gòu)異乎尋常的迷你。它包含了獨(dú)立運(yùn)行原子力顯微鏡測(cè)量所需的，為簡(jiǎn)單的集成鋪平了道路：您所需要的只是300cm3的空間和安裝NaniteAFM測(cè)量頭所需的一個(gè)穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。

基于不斷優(yōu)化的易用性而省時(shí)

NaniteAFM使用背部燕尾式安裝板,方便快速和可重復(fù)安裝。帶有定位槽的探針底座讓您無需在更換探針以后進(jìn)行繁瑣的激光調(diào)節(jié)，探針定位槽的卓越精度允許在不同位置之間切換,而無需搜索正確的區(qū)域,從而減少了實(shí)驗(yàn)期間的停機(jī)時(shí)間和處理時(shí)間。

Nanite AFM的快速安裝系統(tǒng)

NaniteAFM集成于 Accurion nanofilm_ep4 成像橢偏儀

具有 2 μm 橫向分辨率的集成頂視圖攝像頭可完美地概覽表面,以定位樣品上感興趣的區(qū)域,并將其放置在微懸臂下。 方便的側(cè)視攝像頭以 45 度角顯示微懸臂下方的樣品。 它引導(dǎo)用戶在開始時(shí)快速接近樣本于幾十微米以內(nèi)，然后由 AFM 完成最后的自動(dòng)趨近。

頂視/側(cè)視 (1 和 2)圖, 壓痕的光學(xué)圖和AFM圖 (3 和 4)

測(cè)量和分析的自動(dòng)化

為了進(jìn)一步減少操作人員的時(shí)間，NaniteAFM可以操作自動(dòng)化。通過使用腳本界面和批量測(cè)量程序，可以自動(dòng)接近和測(cè)量樣本。 分析和報(bào)告生成也可以使用預(yù)定義的“通過-失敗”標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行自動(dòng)化。這在與電動(dòng)工作臺(tái)結(jié)合使用時(shí)尤其強(qiáng)大，因此一個(gè)或多個(gè)樣本的多個(gè)區(qū)域可以在沒有操作人員的情況下自動(dòng)測(cè)量。

集成功能使NaniteAFM能夠處理幾乎任何樣品。 大的或重的樣品都沒有問題，因?yàn)镹aniteAFM在樣品保持原位的時(shí)候會(huì)移動(dòng)。根據(jù)樣品類型的不同，掃描頭或樣品或兩者都可以精確移動(dòng)。 如果您的樣品還沒有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的解決方案，那么我們的一個(gè)由工程師和科學(xué)家組成的高技能團(tuán)隊(duì)可以幫你設(shè)計(jì)一個(gè)完全滿足您需求的定制解決方案。 甚至不同角度的測(cè)量也可以加適當(dāng)?shù)墓ぷ髋_(tái)來進(jìn)行。

這個(gè)定制的平移臺(tái)是用來測(cè)量大型凹凸樣品的粗糙度的。 全360°手動(dòng)旋轉(zhuǎn)樣品平臺(tái)，掃描頭自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，以適應(yīng)各種樣品的彎曲形態(tài)。 了解我們?cè)谟喼平鉀Q方案實(shí)現(xiàn)的其他項(xiàng)目。

納米級(jí)的定量表面分析

NaniteAFM可提供納米級(jí)表面信息，是增強(qiáng)成像和分析能力以進(jìn)行質(zhì)量控制的工具。 它的優(yōu)點(diǎn)是,它同樣適用于不透明和透明的樣品。 因?yàn)閷?duì)后者來說，AFM已成為玻璃表面分析的成熟技術(shù)。 有些應(yīng)用要求玻璃表面的粗糙度遠(yuǎn)低于納米,納米大小的缺陷可能會(huì)影響工件的行為。 盡管玻璃表面光滑,但玻璃物體可能很大,而且很重,而且不宜從工件中切出樣品進(jìn)行檢查。 最后,玻璃表面不一定是平坦平行的,例如透鏡。 NaniteAFM 是一種靈活的工具,可以處理所有要求,以獲得玻璃工件的定量表面信息。

具有亞納米粗糙度的玻璃表面圖 (A) 和它的統(tǒng)計(jì)分析 (B) (00584)

玻璃中納米級(jí)波紋的圖像 (A) 和高度剖面 (B)。 這種波紋是用惰性Ar離子濺射離焦離子束將原子從表面物理移除而產(chǎn)生的。 范例提供: Maria Caterina Giordano 和 Francesco Buatier de Mongeot, 物理系, 熱那亞大學(xué)(意大利) (00787)

在觀察表面形貌的同時(shí)，您可以使用 NaniteAFM 可視化其他材料屬性:如果樣品在納米尺度上表現(xiàn)出彈性、粘合或磁性特性的變化,則相位信息可用于觀察尖端-樣品相互作用的不均勻性.對(duì)于聚合物樣品, 局部彈性和附著力在靜態(tài)力譜模式下也可以定量映射。

在表面形貌上疊加相位，揭示橡膠力學(xué)性能的變化,與周圍基體藍(lán)色相比，顆粒上的相呈較高的紅綠色。

在表面形貌上疊加相位， 顯示Permalloy薄膜的磁化強(qiáng)度(范例提供:Dr.-Ing教授)。 Jeffrey McCord，納米磁性材料-磁疇，材料科學(xué)研究所，基爾大學(xué)) 納米磁性材料-磁疇, 材料科學(xué)研究所，基爾大學(xué)。
系統(tǒng)參數(shù)

C3000 控制器 — 核心硬件規(guī)格
X/Y/Z-軸掃描和定位控制器	3× 24-bit DAC (200 kHz)
X/Y/Z-軸位置測(cè)量	3× 24-bit ADC (200 kHz)
激勵(lì)和調(diào)制輸出	4× 16-bit DAC (20 MHz)
模擬信號(hào)輸入帶寬	0–5 MHz
主輸入信號(hào)捕獲	2× 16-bit ADC (20 MHz) 2× 24-bit ADC (200 kHz)
附加用戶信號(hào)輸出	3× 24-bit DAC (200 kHz)
附加用戶信號(hào)輸入	3× 24-bit ADC (200 kHz)
附加顯示器信號(hào)輸出	2× 24-bit ADC (200 kHz)
數(shù)字同步	2× 數(shù)字輸出, 2× 數(shù)字輸入, 2× I2C 總線
FPGA 模塊和嵌入式處理器	ALTERA FPGA, 32-bit NIOS-CPU, 80 MHz, 256 MB 內(nèi)存, 多任務(wù)操作系統(tǒng)
通訊	USB 2.0 高速連接于 PC 機(jī)和掃描頭接口
系統(tǒng)時(shí)鐘	內(nèi)部夸脫 (10 MHz) 或 外部時(shí)鐘
電源	90–240 V AC, 70 W, 50/60Hz掃描頭尺寸

附加選項(xiàng)和組件

快速鎖定安裝板

NaniteAFM的燕尾安裝板是將 AFM 集成到您的設(shè)置中的方便法門。 它配備了快速鎖,用于快速組裝和可重復(fù)安裝。

樣品臺(tái) 204

尺寸: 139,1 mm (h) x 204 mm (w) x 204 mm (d)

承載NaniteAFM掃描頭的樣品臺(tái)，安裝在一個(gè)隔離震動(dòng)裝置臺(tái)上。

隔離振動(dòng)臺(tái) 300

使用Nanosurf 隔離振動(dòng)臺(tái)達(dá)到無振測(cè)量

XY 微米移動(dòng)臺(tái)

手動(dòng)移動(dòng)臺(tái)，與Nanite樣品臺(tái)配套使用

行程距離: 13 mm
XY 分辨率: <0.5μmATS 2032 電動(dòng) XYZ 移動(dòng)臺(tái)

ATS 2032電動(dòng)XYZ移動(dòng)臺(tái)是為直徑可達(dá)8英寸的晶圓片和高度可達(dá)60毫米的普通AFM樣品上的連續(xù)測(cè)量而構(gòu)建的。 它具有在所有方向的精準(zhǔn)移動(dòng)和磁鐵以保持金屬樣品的歸位。

對(duì)于較小的樣品和行程范圍，Nanosurf 也開發(fā)了適合于 NaniteAFM 的 ATS 204 自動(dòng)平移臺(tái)。 此緊湊型平移臺(tái)與 Nanosurf 振動(dòng)隔離座完全兼容,可以看作是自動(dòng)批量測(cè)量的簡(jiǎn)單起始配置。 ATS 204 通過方便的 Nanosurf 平臺(tái)控制單元和 Nanosurf 批測(cè)量管理器(集成在Nanosurf 控制軟件中)進(jìn)行控制,便于操作、編程和測(cè)量執(zhí)行。 對(duì)于通常耗時(shí)和重復(fù)性的任務(wù),無需在場(chǎng)或監(jiān)督。