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探針式輪廓儀（臺階儀）

Alpha-Step D500 /D600

采用新型光學(xué)反射探測系統(tǒng)測量高度，同時應(yīng)用電磁力控制探針壓力，能有效實現(xiàn)超微力和低慣量。探針的接觸式測量技術(shù)的優(yōu)點是直接測量，與材料特性無關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結(jié)構(gòu)和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結(jié)構(gòu)改變引起的粗糙度和應(yīng)力變化。

技術(shù)特點

◆ 優(yōu)秀的重復(fù)性和再現(xiàn)性

◆ 接觸式測量，適用于多種材料

◆ 測量軟材料的微力控制

◆ 梯形失真校正可消除側(cè)視視圖造成的失真

◆ 弧形校正補償探針的弧形運動

圖片1.png

應(yīng)用范圍

﹢ 2D/3D 表面形貌掃描

﹢ 納米至1200μm臺階高度測量

﹢ 粗糙度和波紋度測量

﹢ 樣品翹曲和曲率半徑測量

﹢ 2D薄膜應(yīng)力測量

圖片2.png

型號	D500	D600
臺階高度	5nm~1200μm
分辨率	0.38?
重復(fù)性	5?（1μm臺階）
載力范圍	0.03mg~15mg
視頻	5MP高分辨彩色相機
樣品臺	140mm手動XY軸，Z軸自動	200m三軸自動
單次掃描	30mm	55mm
圖像拼接	80mm	200mm
梯形失真校正	消除側(cè)視視圖造成的失真
弧形校正	消除探針的弧形運動引起的誤差
掃描模式	2D		2D/3D

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臺階高度：幾納米至1200μm 低觸力：0.03至15mg 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀主要應(yīng)用臺階高度：2D臺階高度紋理：2D粗糙度和波紋度形式：2D翹曲和形狀應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力應(yīng)用領(lǐng)域大學(xué)，研究實驗室和研究所半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體 SIMS：二次離子質(zhì)譜 LED：發(fā)光二極管太陽能 MEMS：微電子機械系統(tǒng) 汽車醫(yī)療設(shè)備