布魯克輪廓儀Dektak XTL
布魯克第十代臺階儀DektakXT
YAMATO真空裝置YY-775
【COPAN Cyclone】自動化工業(yè)微生物解決方案
【copan PharmaLab】數字制藥實驗室
布魯克DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創(chuàng)新性的設計，可以提供無與倫比的重現性，重現性低于4A。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年 Dektak 技術創(chuàng)新的頂峰，更加鞏固了其行業(yè)領先地位。通過整合其行業(yè)領先產品，DektakXT實現了最高性能。
操作簡易，從研發(fā)到質量控制都有更好的過程控制。整合了技術突破到第十代 Dektak 臺階儀能夠在微電子，半導體，太陽能、超高亮度發(fā)光二極管（LED）、醫(yī)學、材料科學等行業(yè)實現納米級表面形貌測量。
DektakXT 利用獨特的直接驅動掃描樣品臺，將測量時間加快 40%，同時保持行業(yè)領先的性能。Vision64 是布魯克的 64 位并行處理操作和分析軟件，能夠更快地加載 3D 形貌文件，并更快地應用篩選器和多區(qū)域數據庫分析。
單拱門結構設計使 DektakXT 更堅固，從而將環(huán)境噪音的影響降至ZD。DektakXT 升級的"智能電子設備"可降低溫度變化的影響，并采用現代處理器，最大限度地減少噪聲水平，使其成為能夠測量 <10nm 臺階高度的更強大的系統。
布魯克的 Vision64 軟件通過提供直觀、簡化的用戶可視化界面，加入到 DektakXT 的創(chuàng)新設計。智能架構和可自定義自動化功能相結合，可實現快速、全面的數據收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結果進行分析，還是應用自定義篩選器設置和計算，DektakXT 的數據分析器都能顯示當前分析結果，同時顯示其他可能的分析工具。
DektakXT 的自對齊探針組件允許用戶快速輕松地更換不同探針，同時消除換針中的任何潛在風險。布魯克提供廣泛的探針尺寸和形狀，幾乎滿足任何應用需求。
DektakXT 能夠快速輕松地設置和運行自動化的多樣品測量模式，以無與倫比的可重復性驗證整個晶圓表面薄膜的精確厚度。這種有效的監(jiān)控可以通過提高測試通量來節(jié)省寶貴的時間和金錢。
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P-7建立在市場領先的P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。
KLA先進的探針式臺階儀Alpha-Step D-600，可測量納米級至1200um臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率
Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。
Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。
P-17是第八代臺式探針輪廓儀。該系統領先業(yè)界，支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測量，以及用于研發(fā)和生產環(huán)節(jié)的2D翹曲度和應力測量。D-600 包含一個帶有200 毫米樣品載臺的電動樣品臺和具有增強影像控制的高級光學器件。
臺階高度：幾納米至1200μm 低觸力：0.03至15mg 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭 梯形失真校正：消除側視光學系統引起的失真 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差 緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀 主要應用 臺階高度：2D臺階高度 紋理：2D粗糙度和波紋度 形式：2D翹曲和形狀 應力：2D薄膜應力 應用領域 大學，研究實驗室和研究所 半導體和復合半導體 SIMS：二次離子質譜 LED：發(fā)光二極管 太陽能 MEMS：微電子機械系統 汽車 醫(yī)療設備
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