脈沖激光沉積系統(tǒng)為一種在化學(xué)領(lǐng)域進行應(yīng)用的工藝試驗儀器。脈沖激光沉積，又被叫做脈沖激光燒蝕，為一種通過激光轟擊物體，之后在不同的襯底上沉淀轟擊出來的物質(zhì)，使沉淀或者薄膜獲得的一種手段。

脈沖激光沉積系統(tǒng)歷史

早在1916年，受激發(fā)射作用的假設(shè)就已經(jīng)被愛因斯坦提了出來。

直到1960年，首次將紅寶石棒作為激光媒介的激光器才在休斯實驗研究所由梅曼建造出來。

1962年，紅寶石激光器被布里奇與克羅斯采用來對固體表面的原子進行汽化與激發(fā)。

1965年，紅寶石激光器被史密斯與特納用來對薄膜進行沉積，該實驗被當(dāng)作脈沖激光沉積技術(shù)發(fā)展的源頭。

之后十年，因為激光科技的迅速發(fā)展，使脈沖激光沉積技術(shù)的競爭能力有了十分顯著地提升。相比于早前的紅寶石激光器，當(dāng)時激光的重復(fù)頻率比較高，實現(xiàn)了薄膜制作。之后問世了可靠的電子Q開關(guān)激光，可以使很短的激光脈沖產(chǎn)生。所以脈沖激光沉積技術(shù)可以用來將靶一致蒸發(fā)，并且使得化學(xué)計量薄膜沉積出來。

1987年，高溫的Tc超導(dǎo)膜被成功地制作了出來。用來膜制造技術(shù)的脈沖激光沉積不但獲得了廣泛的注意，而且吸引了普遍的贊譽。

過去十年，具備外延特性的晶體薄膜已經(jīng)能夠脈沖激光沉積制作了出來。脈沖激光沉積能夠用來制作各種超晶格、金屬多層膜、氮化物膜以及陶瓷氧化物。

這些年以來，也有報告指出，利用脈沖激光沉積技術(shù)能夠?qū){米管、納米粉末以及量子點進行合成。