美國PVD產品
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- 美國PVD脈沖激光沉積系統特點
- 本文將聚焦美國PVD(Physical Vapor Deposition)脈沖激光沉積系統,深入探討其關鍵特點,為相關從業(yè)者提供參考。 [詳細]
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2025-12-23 18:00
工作原理|
- 關于
美國PVD
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- 1995年,JamesA.Greer博士創(chuàng)立了PVD產品,開發(fā)和銷售大面積脈沖激光沉積系統。他以前在Raytheon研究部工作,Greer博士開發(fā)了能夠將PLD工藝規(guī)模擴大到200mm的原型設備。當時,格雷爾博士認為研發(fā)市場需要這樣的工具,并讓雷神公司為研發(fā)制造各種基于物理氣相沉積(PVD)的工具。
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