PRTS-4A型全自動掃描四探針測試系統(tǒng) PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統(tǒng)是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設(shè)備。該設(shè)備按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設(shè)備。通過全自動測試系統(tǒng)，對晶圓片進行電阻率和方塊電阻分布的測量，繪制出等值線圖后，從而直接觀察到整個晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。 PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統(tǒng)通過采用四探針雙位組合測量技術(shù)，將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進行兩次電測量，其Z后計算結(jié)果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素所引起的，對測量結(jié)果的不利影響。因而在測試過程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動態(tài)地對以上不利因素的自動修正，顯著降低了其對測試結(jié)果的影響，從而提高了測量結(jié)果的準確度。 PRTS-4A全自動掃描四探針測試系統(tǒng)擁有友好操作測試界面，通過此測試程序輔助用戶簡便地進行各項測試操作，把采集到的測試數(shù)據(jù)進行數(shù)學(xué)分析，然后把測試數(shù)據(jù)以Excel表格，2D、3D等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來。方便用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析，用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，

1)測試儀設(shè)計，符合國標和行業(yè)規(guī)范，獲國家ZL。ZL號：ZL201220082173.9 2)同步式連續(xù)多點測試，GX快捷、準確度高、重復(fù)性好。一次裝料，電阻率、壓強、高度同步式連續(xù)多點測試，可快速繪制粉末“電阻率-壓強”曲線。行業(yè)推薦粉末電阻率標準測試方式?？杀苊鈧鹘y(tǒng)異步式的先壓片脫模后再四探針測試的缺項：誤差大，重復(fù)性差，直至散塊不能成形無法測試的問題。 3)帶智能化電腦軟件.可以保存、查詢、統(tǒng)計分析數(shù)據(jù)和打印報告。 4）USB通訊接口，通用性好、方便快捷。 5）8檔位超寬量程。同行一般為五到六檔位。 6）可脫電腦單機操作,小型化、手動/自動一體化。操作簡便、性能穩(wěn)定，所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)碼鍵盤輸入。 7）可拓展功能：壓片機可獨立當(dāng)普通壓片機用，電阻率測試儀也可以增配四探針測試臺、探頭拓展為普通四探針測試儀或電池極片電阻率測試儀。

數(shù)字源表四探針法測試水凝膠電導(dǎo)率認準普賽斯儀表，普賽斯S系列、P系列源表標準的SCPI指令集，Y秀的性價比，良好的售后服務(wù)與技術(shù)支持，普賽斯儀表是手家國產(chǎn)數(shù)字源表生產(chǎn)廠家，產(chǎn)品已經(jīng)歷3年迭代完善，對標2400、2450、2611、2601B、2651、2657等；

CRESBOX半自動四探針測試儀可用于測試硅晶片及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、金屬薄膜等材料的電阻率和方塊電阻。

儀器由主機、測試架兩大部分組成。主機包括高靈敏的直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定的直流恒流源測量試驗設(shè)置通過觸摸屏進行操作和設(shè)置，頁面布局合理，人性化設(shè)計，可對測試結(jié)果進行打印。 儀器具有測量精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點，完全符合國際和國家標準的要求。儀器適用于導(dǎo)體粉末、半導(dǎo)體粉末、炭素材料等行業(yè)，進行檢測必備測試設(shè)備。