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KLA R54 四探針電阻率測量儀
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本文由 優(yōu)尼康科技有限公司 整理匯編
2025-06-27 14:58 541閱讀次數(shù)
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KLA R54 四探針電阻率測量儀是KLA的電阻率測量產(chǎn)品。從半導體制造到實現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，薄膜電阻監(jiān)控對于任何使用導電薄膜的行業(yè)都相當重要。KLA R54 四探針電阻率測量儀在功能上
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KLA R54 四探針電阻率測量儀- KLA R54 四探針電阻率測量儀是KLA的電阻率測量產(chǎn)品。從半導體制造到實現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，薄膜電阻監(jiān)控對于任何使用導電薄膜的行業(yè)都相當重要。KLA R54 四探針電阻率測量儀在功能上[詳細]
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2025-06-27 14:58
產(chǎn)品樣冊
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- KLA R50 四探針電阻率測量儀
- KLA R50 四探針電阻率測繪系統(tǒng)是KLA電阻測試系列的產(chǎn)品。電阻測量和監(jiān)控對于任何使用導電薄膜的行業(yè)都相當重要，從半導體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。KLA R50 四探針電阻率測量儀在金屬[詳細]
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2025-06-27 14:59
產(chǎn)品樣冊
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四探針電阻率測試儀DK32-KDY-4- 四探針電阻率測試儀DK32-KDY-4DK32-KDY-4型四探針電阻率測試儀嚴格按照硅片電阻率測量的國際標準（ASTMF84）及國家標準設(shè)計制造，并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進。整套儀器有如下特點：1、配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一塊數(shù)字表適時監(jiān)測全過程中的電流變化，使操作更簡便，測量更極ng確。數(shù)字電壓表量程：0199.9mV靈敏度：100μV輸入阻抗：1000ΜΩ基本誤差±（0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿度）2、可測電阻率范圍：1031.9×103Ωcm?？蓽y方塊電阻范圍：1021.9×104Ω/□。3、設(shè)有電壓表自動復零功能，當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。4、流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機測量精度＜3%。電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。5、儀器采用觸點電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10萬次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測試儀的可靠性和使用壽命。6、四探針頭采用國際上先進的紅寶石軸套導向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測量重復性提高[詳細]
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2018-10-07 10:00
產(chǎn)品樣冊
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- 四探針/電阻率/方塊電阻測試
- 四探針/電阻率/方塊電阻測試[詳細]
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2024-09-13 17:06
標準
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- 方阻儀/四探針電阻率檢測儀KDK-KDY-1
- 低阻型四探針檢測儀/方阻儀/四探針電阻率檢測儀型號;KDK-KDY-1儀器采用GB/T1552-1995硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法（2）范圍：電阻率10-5～10+3歐姆厘米，分辨率為10-5歐姆厘米方塊電阻10-4～10+4歐姆/□，Z小分辨率為10-4歐姆/□（3）可測量材料：半導體材料硅鍺棒、塊、片、導電薄膜等可準確測量的半導體尺寸：直徑≥20可測量的半導體尺寸：直徑≥8（4）測量方式：平面測量。（5）電壓表：雙數(shù)字電壓表，可同時觀察電流、電壓變化A.量程0~19.999mVB.基本誤差±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)C.靈敏度：1uVD輸入阻抗1000MΩE41/2位數(shù)字顯示，0～19999（6）恒流源：A.電流輸出：直流電流0.003～100mA連續(xù)可調(diào)，有交流電源供給B.量程：10uA，100uA，1mA，10mA，100mA五檔C.恒流源精度：各檔均≤±0.05%（7）四探針測試探頭A.探頭間距1.59B.探針機械游率：±0.3%C.探針直徑0.8D.探針材料：碳化鎢，探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。（8）測試架：（選配）手動測試架：KDJ-1A型手動測試架探頭上下由手動操作，可以用作斷面單晶棒和硅片測試，探針頭可上下移動距離：120mm，測試臺面200x200(mm)。（9）精度電器精度：1-1000歐姆≤0.3%整機測量精度：1-100歐姆厘米≤3%（10）電流：220V±10%，50HZ，功率消耗35W注：如果測金屬粉末電阻率必把樣品壓成塊或片才能測[詳細]
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2018-09-24 10:01
產(chǎn)品樣冊
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- 四探針電阻率測試儀產(chǎn)品樣冊
- 四探針電阻率測試儀產(chǎn)品樣冊[詳細]
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2024-09-30 00:11
報價單
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- 四探針電阻率測試儀的使用方法
- 一、參數(shù)指標
測量半導電電阻率時： 電阻率10-5--105Ω-cm；分辯率10-6Ω-cm
測量其他（電線電纜）電阻時： 電阻10-4--2X105Ω，分辨率1uΩ
二、測試四探針筆
一般情況下，更換鋼針之類，不需要拆開探頭，只需要用拔出要更換的鋼針，再重新安裝新針，如果斷針在孔內(nèi)并且不拆開難以取出，必須按照以下步驟進行操作：
1、先松開筆身尾部端側(cè)面的固定小螺絲，輕輕脫下尾部航空插口，保證探針頭部旋轉(zhuǎn)時同步旋轉(zhuǎn)，防止扭線斷線，短接
2、輕輕擰開探針頭子，然后小心將銅片拉出，記住七片絕緣片與銅片之間的位置，（四片銅片每片間夾一片絕緣片，兩邊的銅片外側(cè)各兩片），將斷針從銅片卡口座里取下即可。
3、特別注意一定不能將銅片取下時的位置錯亂，銅片位置按照航空頭四芯1234接線綠紅黃黑的順序一字排列，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列，以免短接。
4、安裝時銅片及絕緣片按照拆下時的排列輕輕塞進探針頭子，并先將探針頭子擰緊，再將尾部航空頭插上，并且旋緊小螺絲，
5、將針裝好，注意針頭針尾方向，尖頭為探針頭部[詳細]
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2024-09-11 17:53
其它
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- KDY-1A四探針電阻率測定儀使用說明書
- 使用方法：（1）在背板上電源插座插好電源線、四探針頭連接線，檢查保險絲管有無松動。（2）打開背板上的電源開關(guān)（將I按下）此時面板上的數(shù)字表及各控制開關(guān)上均有指示燈點亮。（3）從左向右，察看控制開關(guān)，先將電流換檔開關(guān)置于“1mA”,在測硅片、硅塊時ρ/R置于“ρ”，在測方塊電阻時ρ/R置于“R”，校準/測量檔選在“校準”。（4）將四探針頭壓在樣品上，此時數(shù)字表上顯示的是測量電流;如選用間距為1.00mm的四探針頭，在10mA檔時,調(diào)節(jié)粗調(diào)、細調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示6.28，即I=6.28mA。在1mA檔時,調(diào)節(jié)粗調(diào)、細調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示62.8，即I=0.628mA。如選用間距為1.59mm的四探針頭，在10mA檔時,調(diào)節(jié)粗調(diào)、細調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示10.0，即I=10mA。在1mA檔時,調(diào)節(jié)粗調(diào)、細調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示100.0，即I=1mA。（5）將Z右邊的按鈕按下，測量燈亮。此時數(shù)字表上顯示的是欲測樣品電阻率，樣品電阻率在1.0Ωcm至199.9Ωcm之間均可用此檔（1mA）測量，如數(shù)字表顯示1，后三位全不顯示時，表示材料電阻率大于200Ωcm。（6）電流選擇電阻率≥1Ωcm時選用1mA檔測量。方塊電阻≥10Ω/□時選用1mA檔測量。電阻率≤1Ωcm時選用10mA檔測量。方塊電阻≤10Ω/□時選用10mA檔測量。例如:選用間距為1.00mm的四探針頭，當電流換檔開關(guān)按到10mA檔燈亮，將測量/校準開關(guān)按至“校準”燈亮，調(diào)節(jié)下面的粗、細調(diào)旋鈕，使數(shù)字表顯示6.28，此時測量電流即為6.28mA。將測量/校準開關(guān)按至測量時燈亮，此時讀出的數(shù)即是電阻率值，測量范圍在0.01至1.00Ωcm，如數(shù)字表顯示0.00時，即表示材料電阻率很低，已小于0.01Ωcm。測量硅片電阻率時，請先用卡尺測出厚度，再在校準檔按附表調(diào)節(jié)好電流后，轉(zhuǎn)到測量檔即可方便讀出電阻率數(shù)。文章來源：北京綠野創(chuàng)能機電設(shè)備有限公司[詳細]
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2018-09-29 10:01
產(chǎn)品樣冊
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- KLA P-7 探針式臺階儀
- KLA P-7 探針式臺階儀可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。[詳細]
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2025-06-19 16:56
產(chǎn)品樣冊
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- KLA P-17 探針式臺階儀將自動化與可靠性相結(jié)合，適用于無需晶圓處理器的生產(chǎn)應用。這些應用包括用于半導體、功率器件、無線技術(shù)、LED和數(shù)據(jù)存儲領(lǐng)域的AlTiC、GaAs、Si、SiC和藍寶石晶圓的[詳細]
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2025-06-19 16:59
產(chǎn)品樣冊
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- KLA D600 探針式表面輪廓儀
- KLA D600 探針式表面輪廓儀包括一個200mm自動樣品載臺和具有增強圖像控制的光學器件。Alpha-Step輪廓儀體積小巧，專為高校、實驗室和研究所設(shè)計[詳細]
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2025-06-19 17:03
產(chǎn)品樣冊
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- KLA D500 探針式表面輪廓儀
- KLA D500 探針式表面輪廓儀包含140毫米手動載物臺和具有增強影像控制的光學器件。體積小巧，專為高校、實驗室和研究所設(shè)計，可為半導體和化合物半導體器件、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫(yī)療行業(yè)提[詳細]
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2025-06-19 17:04
產(chǎn)品樣冊
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- 四探針半導體粉末電阻率測試儀測試原理
- 四探針半導體粉末電阻率測試儀是一種用于測量材料電阻率的儀器。它采用了四個探針，通過測量材料電阻對電流的響應來計算出材料的電阻率。下面將詳細介紹這種測試儀的原理和工作過程。
我們需要了解什么是電阻率。電阻率是材料對電流的阻礙程度的度量，通常用符號ρ表示，單位是Ω·m。電阻率越小，材料的導電性越好。而電阻則是電阻率與材料長度和橫截面積的乘積，可以用來描述材料的電阻大小。
四探針半導體粉末電阻率測試儀通過將四個探針嵌入待測試的材料中，形成一個測量電流的電路。其中兩個探針用于施加電壓，另外兩個探針用于測量電流。通過測量電壓和電流的關(guān)系，就可以計算出材料的電阻率。
具體的測試過程如下：
1. 首先，將待測試的材料放置在測試儀的測試臺上，并將四個探針插入材料中。為了確保測量的準確性，探針應該均勻分布在材料表面，并且彼此之間的距離應該足夠遠。
2. 接下來，通過測試儀的控制面板設(shè)置測量參數(shù)，包括施加的電壓和測量的電流范圍。通常，電壓的大小應該適中，既能夠產(chǎn)生足夠大的電流，又不會損壞材料。
3. 當設(shè)置好參數(shù)后，開始進行測量。測試儀會自動施加電壓，并通過另外兩個探針測量電流。根據(jù)歐姆定律，[詳細]
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2023-10-11 16:18
其它
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- 四探針方阻 電阻率測試儀產(chǎn)品樣冊
- 四探針方阻 電阻率測試儀產(chǎn)品樣冊[詳細]
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2024-09-27 23:58
報價單
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- 高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)產(chǎn)品樣冊
- 高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)產(chǎn)品樣冊[詳細]
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2024-09-11 17:59
其它
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- KLA P-170全自動探針式表面輪廓儀
- KLA P-170 系統(tǒng)的配方設(shè)置快速而簡單，有點擊式平臺控制、雙視角光學和高分辨率數(shù)字攝像機。將光標放置在特定的特征上，通過自動處理晶圓、模式識別、排序和特征檢測來實現(xiàn)完全自動化的測量。[詳細]
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2025-06-19 17:00
產(chǎn)品樣冊
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- jjg 508-2004 四探針電阻率測試儀檢定規(guī)程.pdf
- jjg 508-2004 四探針電阻率測試儀檢定規(guī)程.pdf[詳細]
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2015-05-12 00:00
專利
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- 玖久便攜式四探針電阻率測試儀簡單介紹
- 玖久便攜式四探針電阻率測試儀簡單介紹我公司向您介紹的便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。本儀器按照半導體材料電阻率的國際及國家標準測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計。它主要由電器測量部份（主機）及四探頭組成，需要時可加配測試架。為減小體積，本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分先材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1～100Ωcm標準樣片的測量瓿差不超過±3%，在此范圍內(nèi)達到國家標準一級機的水平。產(chǎn)品技術(shù)性能：（1）測量范圍：可測量電阻率：0.01～199.9Ωcm?？蓽y方塊電阻：0.1～1999Ω/口當被測材料電阻率≥200Ωcm數(shù)字表顯示0.00。（2）恒流源：輸出電流：DC0.1mA～10mA分兩檔10mA量程：0.1～1mA連續(xù)可調(diào)10mA量程：1mA～10mA連續(xù)可調(diào)恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%適合測量各種厚度的硅片（3）直流數(shù)字電壓表測量范圍：0～199.9mv靈敏度：100μv準確度：0.2%（±2個字）（4）供電電源：AC：220V±10%50/60HZ功率8W（5）使用環(huán)境：相對濕度≤80%（6）重量、體積重量：2.2公斤體積：寬210×高100×深240（mm）（7）KD探針頭壓痕直徑：30/50μm間距：1.00mm探針合力：8±1N針材：TC[詳細]
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2018-10-07 10:01
產(chǎn)品樣冊
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- 進口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀產(chǎn)品樣冊
- 進口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀產(chǎn)品樣冊[詳細]
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2024-09-16 03:38
課件
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- CDE resmap 273 四探針面掃描電阻率電導率測試儀產(chǎn)品樣冊
- CDE resmap 273 四探針面掃描電阻率電導率測試儀產(chǎn)品樣冊[詳細]
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2024-09-30 13:39
期刊論文
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