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KLA D500 探針式表面輪廓儀
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本文由 優(yōu)尼康科技有限公司 整理匯編
2025-06-19 17:04 536閱讀次數(shù)
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KLA D500 探針式表面輪廓儀包含140毫米手動載物臺和具有增強影像控制的光學(xué)器件。體積小巧，專為高校、實驗室和研究所設(shè)計，可為半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體器件、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫(yī)療行業(yè)提
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KLA D500 探針式表面輪廓儀- KLA D500 探針式表面輪廓儀包含140毫米手動載物臺和具有增強影像控制的光學(xué)器件。體積小巧，專為高校、實驗室和研究所設(shè)計，可為半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體器件、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫(yī)療行業(yè)提[詳細]
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2013-10-24 00:00
操作手冊
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- 探針電子束光刻機（掃描探針電子束光刻系統(tǒng)P-SPL21）
- 公司推出的探針電子束光刻機P-SPL21,利用探針在近光刻膠表面發(fā)射低能電子的原理實現(xiàn)光刻效果。該系統(tǒng)的主要特點在于：
（1）幾乎無鄰近效應(yīng)，能實現(xiàn)3-5nm線寬的超精細光刻結(jié)構(gòu)；
（2）用于發(fā)射電子的探針同時具有原子力顯微鏡功能，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級精準定位并原位測量曝光圖型；
（3）超高寫場拼接精度（≤2nm），且能夠抑制電子束長時間產(chǎn)生的空間漂移（≤5nm）。
百及納米科技的探針電子束光刻系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)光刻與原子力顯微鏡表征的雙重功能，是一款理想的用于微納制造和表征尺寸小于5nm線寬結(jié)構(gòu)的一體化系統(tǒng)。[詳細]
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2024-09-14 06:17
產(chǎn)品樣冊
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- 探針測試臺 GSZ-ST-102A
- 探針測試臺/測試臺/中測臺/點測機型號；GSZ-ST-102AGSZ-ST-102A型探針測試臺、與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能調(diào)試，適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測試。技 術(shù) 指 標：工作臺面370mm*245mm載物臺直徑4"光學(xué)參數(shù)總放大率：50-100倍；手輪調(diào)焦范圍：60mm；升降調(diào)焦范圍：200mm；精密旋轉(zhuǎn)臺粗調(diào)范圍：360°；微調(diào)范圍：±10°；Z小刻劃：1°；銅盤直徑：Φ85mm；絕緣盤直徑：Φ102mm三維探針座探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2μ；三維探針座在工作臺面可任意位置固定，由磁性開關(guān)控制；Z多可布三維探針座6個；探針臂伸出長度：60mm；探針長度：40mm；探針探針材質(zhì)硬質(zhì)合金，針尖曲率半徑2μm；標準配置：主工作臺、顯微鏡、承片臺、三維微調(diào)架2個、探針臂2支、探針2支?？蛇x配件：三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵。[詳細]
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2018-09-24 10:01
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- 開爾文探針掃描系統(tǒng)
- 開爾文探針掃描系統(tǒng)[詳細]
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2024-09-21 18:29
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