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KLA P-170全自動(dòng)探針式表面輪廓儀

本文由 優(yōu)尼康科技有限公司 整理匯編

2025-06-19 17:00 543閱讀次數(shù)

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KLA P-170 系統(tǒng)的配方設(shè)置快速而簡(jiǎn)單,有點(diǎn)擊式平臺(tái)控制、雙視角光學(xué)和高分辨率數(shù)字?jǐn)z像機(jī)。將光標(biāo)放置在特定的特征上,通過(guò)自動(dòng)處理晶圓、模式識(shí)別、排序和特征檢測(cè)來(lái)實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化的測(cè)量。

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