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KDY-1A四探針電阻率測(cè)定儀使用說明書

本文由 上海科學(xué)儀器有限公司 整理匯編

2018-09-29 10:01 1293閱讀次數(shù)

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使用方法:(1)在背板上電源插座插好電源線、四探針頭連接線,檢查保險(xiǎn)絲管有無松動(dòng)。(2)打開背板上的電源開關(guān)(將I按下)此時(shí)面板上的數(shù)字表及各控制開關(guān)上均有指示燈點(diǎn)亮。(3)從左向右,察看控制開關(guān),先將電流換檔開關(guān)置于“1mA”,在測(cè)硅片、硅塊時(shí)ρ/R置于“ρ”,在測(cè)方塊電阻時(shí)ρ/R置于“R”,校準(zhǔn)/測(cè)量檔選在“校準(zhǔn)”。(4)將四探針頭壓在樣品上,此時(shí)數(shù)字表上顯示的是測(cè)量電流;如選用間距為1.00mm的四探針頭,在10mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕,使數(shù)字表顯示6.28,即I=6.28mA。在1mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕,使數(shù)字表顯示62.8,即I=0.628mA。如選用間距為1.59mm的四探針頭,在10mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕,使數(shù)字表顯示10.0,即I=10mA。在1mA檔時(shí),調(diào)節(jié)粗調(diào)、細(xì)調(diào)旋鈕,使數(shù)字表顯示100.0,即I=1mA。(5)將Z右邊的按鈕按下,測(cè)量燈亮。此時(shí)數(shù)字表上顯示的是欲測(cè)樣品電阻率,樣品電阻率在1.0Ωcm至199.9Ωcm之間均可用此檔(1mA)測(cè)量,如數(shù)字表顯示1,后三位全不顯示時(shí),表示材料電阻率大于200Ωcm。(6)電流選擇電阻率≥1Ωcm時(shí)選用1mA檔測(cè)量。方塊電阻≥10Ω/□時(shí)選用1mA檔測(cè)量。電阻率≤1Ωcm時(shí)選用10mA檔測(cè)量。方塊電阻≤10Ω/□時(shí)選用10mA檔測(cè)量。例如:選用間距為1.00mm的四探針頭,當(dāng)電流換檔開關(guān)按到10mA檔燈亮,將測(cè)量/校準(zhǔn)開關(guān)按至“校準(zhǔn)”燈亮,調(diào)節(jié)下面的粗、細(xì)調(diào)旋鈕,使數(shù)字表顯示6.28,此時(shí)測(cè)量電流即為6.28mA。將測(cè)量/校準(zhǔn)開關(guān)按至測(cè)量時(shí)燈亮,此時(shí)讀出的數(shù)即是電阻率值,測(cè)量范圍在0.01至1.00Ωcm,如數(shù)字表顯示0.00時(shí),即表示材料電阻率很低,已小于0.01Ωcm。測(cè)量硅片電阻率時(shí),請(qǐng)先用卡尺測(cè)出厚度,再在校準(zhǔn)檔按附表調(diào)節(jié)好電流后,轉(zhuǎn)到測(cè)量檔即可方便讀出電阻率數(shù)。文章來源:北京綠野創(chuàng)能機(jī)電設(shè)備有限公司

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