EcoClean是YES的一種小巧，高通量的下游等離子剝離/除渣解決方案，具有高蝕刻速率，并且對(duì)表面的損傷很小/可以忽略不計(jì)。Z小化擁有成本，氣體使用量和寶貴的工廠(chǎng)空間。

將擁有成本降低30％以上，同時(shí)ZDCD地減少自動(dòng)化大批量生產(chǎn)中的化學(xué)用量。將VertaCoat配置為適用于各種需要精確表面修飾，高產(chǎn)量和可靠性的應(yīng)用。

YES-VertaCure是經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的自動(dòng)真空固化系統(tǒng)，配備5區(qū)均勻溫度控制和層流。與大氣固化相比，該系統(tǒng)具有出色的薄膜性能，更高的產(chǎn)量和更低的CoO，并為晶圓級(jí)封裝（WLP）應(yīng)用的多種聚合物提供...

YES–PB系列是低顆粒烤箱設(shè)計(jì)和制造方面數(shù)十年經(jīng)驗(yàn)的產(chǎn)物。 這些可靠的系統(tǒng)可完全去除殘留的溶劑，均勻的溫度分布，壓力控制，干燥的惰性氣氛以及對(duì)加熱和冷卻速率的精確管理。

YES-TA系列雙功能HMDS原色和圖像反轉(zhuǎn)烤箱將先進(jìn)的氣相沉積技術(shù)帶入研究實(shí)驗(yàn)室或?qū)W術(shù)環(huán)境。獲得穩(wěn)定的過(guò)程結(jié)果，同時(shí)ZDCD地減少成本高昂的有毒化學(xué)藥品的使用。

機(jī)器掩膜防護(hù)工藝，提供完整的納米壓印解決方案