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岱美儀器技術服務(上海)有限公司
主營產品:晶圓鍵合機、光刻機,納米壓印設備,隔振臺,膜厚儀、超薄晶圓處理設備
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光刻膠處理系統(tǒng)

 
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EVG101 勻膠機 勻噴膠機 光刻膠處理機
  • 品牌:EVG
  • 型號:EVG101
  • 產地:歐洲 奧地利
  • EVG101光刻膠處理系統(tǒng)在單室設計上可以滿足研發(fā)工作,與EVG的自動化系統(tǒng)完全兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圓,可配置為旋涂或噴涂和顯影。使用EVG先進的OmniSpray涂層技術,...