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岱美儀器技術服務(上海)有限公司
主營產品:晶圓鍵合機、光刻機,納米壓印設備,隔振臺,膜厚儀、超薄晶圓處理設備
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掩模對準曝光機

 
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IQ Aligner 自動掩模對準系統(tǒng)
  • 品牌:EVG
  • 型號:IQ Aligner
  • 產地:歐洲 奧地利
  • IQ Aligner 自動掩模對準系統(tǒng) 用于自動非接觸近距離掩模對準光刻,進行了處理和優(yōu)化,用于晶圓片的尺寸高達200毫米。

EVG6200 NT掩模對準光刻系統(tǒng)
  • 品牌:EVG
  • 型號:EVG6200 NT
  • 產地:歐洲 奧地利
  • 特色:EVG 6200 NT掩模對準器為光學雙面光刻的多功能工具和晶片尺寸高達200毫米。

IQ Aligner NT自動掩模對準系統(tǒng)
  • 品牌:EVG
  • 型號:IQ Aligner NT
  • 產地:歐洲 奧地利
  • 新型IQ Aligner NT具有高強度和高均勻度的曝光光學器件,新的晶圓處理硬件,可實現(xiàn)全局多點對準的200mm和300mm晶圓全覆蓋范圍以及優(yōu)化的工具軟件,從而使生產率提高了2倍與EVG上一代IQ...

EVG單面/雙面掩模對準光刻機EVG610
  • 品牌:EVG
  • 型號:EVG610
  • 產地:歐洲 奧地利
  • EVG610支持各種標準光刻工藝,如真空,硬,軟接觸和接近式曝光模式,可選擇背部對準方式。此外,該系統(tǒng)還提供其他功能,包括鍵合對準和納米壓印光刻(NIL)。