氧化鎵(GaO?)作為新興的寬帶隙半導(dǎo)體材料,憑借其超高的擊穿電場強(qiáng)度、優(yōu)異的耐高溫性能以及出色的紫外光響應(yīng)特性,正成為高功率電子器件、深紫外光電器件等領(lǐng)域的研發(fā)熱點(diǎn)。精準(zhǔn)測試其電學(xué)特性(如載流子濃度、遷移率、電阻率等),也是材料研究與器件優(yōu)化的關(guān)鍵挑戰(zhàn)之一。
上海大學(xué)研究團(tuán)隊(duì)通過霍爾效應(yīng)測試,對不同Ta摻雜濃度的氧化鎵薄膜進(jìn)行了系統(tǒng)化測試。通過精準(zhǔn)獲取載流子濃度與遷移率數(shù)據(jù),團(tuán)隊(duì)成功建立了摻雜濃度與電學(xué)性能的關(guān)聯(lián)模型,為高性能氧化鎵器件的設(shè)計與工藝優(yōu)化提供了關(guān)鍵支撐!
針對薄膜材料的特殊需求,嘉儀通霍爾效應(yīng)測試儀通過范德堡法,可快速、準(zhǔn)確地測定以下核心參數(shù):
? 電阻率——揭示材料導(dǎo)電性能;
? 霍爾系數(shù)——判斷載流子類型(N/P型);
? 載流子濃度——量化摻雜效率;
? 遷移率——評估材料電荷傳輸能力 ;
? 方阻——為器件工藝優(yōu)化提供依據(jù);
無論是對輕摻雜還是重?fù)诫s的GaO?,嘉儀通霍爾測試儀均能提供穩(wěn)定、重復(fù)性高的測試結(jié)果,助力科研團(tuán)隊(duì)突破材料性能瓶頸。
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