上期內容回顧：用于制備高保真圖案的優(yōu)化紫外納米壓印工藝（一）

使用柔性壓印模板而非剛性模具具有顯著優(yōu)勢：安裝在聚合物背板上的聚合物模板（工作模板）具有柔性，這使得工藝對顆粒污染物的敏感度降低，并且無需施加高外部壓力即可實現大面積的保形接觸，從而獲得高良率。使用低成本的工作模板替代昂貴的剛性母版模具，使得工作模板通常無需額外涂覆防粘層，因為聚合物模具材料本身通常就是低表面能材料，能夠使工作模板從壓印表面輕松脫模。除了技術優(yōu)勢外，采用工作模板的方法通過簡化工藝流程并保護母版模具的質量，顯著降低了總體工藝成本。

三、SmartNIL? 工藝優(yōu)化結果

A. 圖案分辨率的靈活性

諸如偏振片、分布反饋（DFB）光柵或波導等不同應用，對線寬與間距的幾何結構有著不同的要求。圖 2 展示了使用紫外納米壓印技術（UV NIL）實現此類幾何結構的靈活性。

圖 2 SmartNIL? 壓印結果展示分辨率靈活性：a) 12.5 納米；b) 75 納米線柵偏振片分辨率；c) 400 納米光柵；d) 2 微米線/間距

在壓印圖案下方殘留的樹脂層（即殘余層厚度，RLT）由涂覆樹脂層的厚度以及圖案的填充因子決定。假設圖案高度保持恒定，即使光柵圖案的線寬和周期發(fā)生變化，只要填充因子恒定，殘余層厚度也將保持一致。

B. 圖案形狀的靈活性

圖 3 說明了針對不同應用的圖案形狀靈活性，例如用于光子學應用的桶形透鏡和亞微米級孔陣列，以及用于光管理的柱狀結構和蜂窩狀結構。

圖 3 SmartNIL? 壓印結果展示形狀靈活性：a) 桶形透鏡結構；b) 光子晶體孔狀結構；c) 400 納米納米圖案化藍寶石襯底（nPSS）柱狀結構；d) 蜂窩狀抗反射結構。

為了確保光子器件在低成本制造的同時保持穩(wěn)定的性能，使用同一塊工作模板進行多次壓印并保證可靠的壓印質量至關重要。