上期內(nèi)容回顧：實(shí)測(cè)案例——晶圓上氮氧化鋰（LiPON）薄膜的表征（一）

結(jié)果：

樣品 1 - 鉑鈦層上的鋰磷氧氮薄膜

由于鉑層厚度相對(duì)較高且具有強(qiáng)光學(xué)吸收特性，可將其視為光學(xué)上的半無限介質(zhì)，因此在光學(xué)模型中作為有效襯底使用。鋰磷氧氮薄膜的整面掃描圖結(jié)果如下圖所示。下圖中展示了具有代表性的實(shí)驗(yàn)實(shí)測(cè)反射光譜（紅色曲線）。光譜擬合在 400–900 nm 波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行。

圖 4： 樣品 1 - 鉑鈦層上鋰磷氧氮薄膜區(qū)域的整面掃描圖。

圖 5：鉑鈦層上代表性測(cè)量點(diǎn)的反射光譜及鋰磷氧氮薄膜厚度結(jié)果。

圖 6：鉑鈦層上代表性測(cè)量點(diǎn)的快速傅里葉變換頻譜圖。

樣品 1 - 硅基底上二氧化硅層之上的鋰磷氧氮薄膜

鋰磷氧氮薄膜及二氧化硅薄膜的厚度整面掃描圖結(jié)果如下圖所示。下圖9展示了具有代表性的實(shí)驗(yàn)實(shí)測(cè)反射光譜（紅色曲線）。光譜擬合在400–900 nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行，在擬合過程中同步確定了兩個(gè)膜層的厚度。

圖 7： 樣品 1 - 鋰磷氧氮薄膜區(qū)域的整面掃描圖。

圖 8： 樣品 1 - 二氧化硅薄膜區(qū)域的整面掃描圖。

圖 9： 二氧化硅層上鋰磷氧氮薄膜代表性測(cè)量點(diǎn)的反射光譜及厚度結(jié)果。

樣品 2 - 二氧化硅薄膜

二氧化硅薄膜的厚度整面掃描圖結(jié)果如下圖所示。下圖中展示了具有代表性的實(shí)驗(yàn)實(shí)測(cè)反射光譜（紅色曲線）。光譜擬合在 400–900 nm 波長(zhǎng)范圍內(nèi)進(jìn)行。

圖 10：樣品 2 - 二氧化硅薄膜區(qū)域的整面掃描圖。

圖 11：二氧化硅薄膜代表性測(cè)量點(diǎn)的反射光譜及厚度結(jié)果。

結(jié)論：上述晶圓已成功完成表征，結(jié)果總結(jié)如下。具體而言，對(duì)應(yīng)于各樣品整面掃描圖測(cè)量的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)表如下：