日本電子株式會社（總裁：大井泉）宣布：新型熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-F100于2019年8月開始銷售

JSM-F100集成了備受推崇的In-lens Schottky Plus Gun（浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍）和電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine，還集成了一個新開發(fā)的操作GUI“SEM Center”和一個創(chuàng)新的Live-AI filter(實時圖像視覺增強(qiáng)器人工智能過濾器), 實現(xiàn)了高空間分辨率成像觀察和高可操作性。此外，JSM-F100配備了JEOL能量色散x射線光譜儀(EDS)，操作導(dǎo)航完全集成在“SEM Center”內(nèi)，從圖像到元素分析實現(xiàn)無縫采集。受用戶追求高性能和可操作性的改進(jìn)和集成的啟發(fā)，JSM-F100的工作效率比之前的JSM-7000系列高50%或更高。

特點：

1.In-lens 肖特基-Plus場發(fā)射電子槍(FEG)

電子槍和低像差聚光鏡的增強(qiáng)集成實現(xiàn)了更高的亮度。能夠有效收集電子槍產(chǎn)生的電子，即使低加速電壓下也能得到數(shù)pA-數(shù)十pA的電流，支持高分辨觀察、高速元素分析和EBSD分析。

2. 混合透鏡(HL)

混合透鏡(HL)是靜電和電磁場透鏡的組合，支持從磁性材料到絕緣體等各種樣品的高空間分辨率成像和分析

3. Neo Engine

Neo Engine是一種前沿的電子光學(xué)控制系統(tǒng)，在自動功能的精度上有了顯著的提高，可操作性也更高。即使變更電子光學(xué)條件，光軸也不偏差，操作性和觀察精度大幅提高?？梢哉f是JEOL電子光學(xué)技術(shù)的結(jié)晶。

4. 新操作導(dǎo)航SEM Center-集成了EDS操作

新開發(fā)的操作GUI“SEM Center”將SEM成像觀察和EDS分析整合在一起，實現(xiàn)了圖像觀察和元素分析的無縫數(shù)據(jù)采集。

5. 新功能Zeromag

 “Zeromag",結(jié)合了從光學(xué)圖像到SEM成像的無縫轉(zhuǎn)換，很容易定位試樣目標(biāo)微區(qū)。

6. 新功能Live-AI filter(實時圖像視覺增強(qiáng)器人工智能過濾器) option

配備人工智能Live-AI filter。與圖像集成處理不同，這種新的過濾器可以顯示無縫移動的實時圖像，沒有殘留圖像。這種獨特的特征對于快速搜索觀察區(qū)域、聚焦和消像散調(diào)整非常有效。