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日本電子 JSM-7800F 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM
浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
探針電流是傳統(tǒng)型的10倍以上
最適合于EDS分析等
JEOL Only
能高效率的利用電子束
長壽命的發(fā)射體
JEOL Only
1.超級(jí)混合式物鏡
JSM-7800F采用了新開發(fā)的電磁場(chǎng)疊加的超級(jí)混合式物鏡 Super Hybrid Lens(SHL)和高穩(wěn)定性的浸沒式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍。因此,即使在低加速電壓條件下也能夠獲得高分辨率的圖像。
2.高空間分辨率的元素分析
JSM-7800F配置了最佳光闌角控制鏡,因此,即使在很大的探針電流下也能獲得很小的電子束斑。此外,用低加速電壓進(jìn)行元素分析,可以減少電子束在樣品中的擴(kuò)展區(qū)域,能進(jìn)行高空間分辨率的微區(qū)分析。
3.同時(shí)獲取多種信號(hào)
JSM-7800F采用了新開發(fā)的檢測(cè)器系統(tǒng),因此,即使在1 kV以下的低加速電壓下,也能對(duì)樣品中產(chǎn)生的電子能帶進(jìn)行選擇,并且可以同時(shí)檢測(cè)像右圖那樣通過調(diào)整UED過濾器偏壓能夠同時(shí)獲得以二次電子為主的圖像和以背散射電子為主的圖像。
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