工具顯微鏡作為常用的測量工具對零件有多種測量方法，以下介紹幾種常用的測定方法：
1、直角坐標(biāo)的測定：
測定物的直角坐標(biāo)方向和十字形工作臺的移動方向一致時(shí)方可進(jìn)行測定。十字移動工作臺的移動量就可直接讀取直角坐標(biāo)值。如大型工具顯微鏡，使用瞄準(zhǔn)孔直角坐標(biāo)測定上的像連接觀測眼即可正確測定，而進(jìn)行測定物直角坐標(biāo)方向和十字移動工作臺校正時(shí)，需使用裝設(shè)在大型工具顯微鏡上的裝配式旋轉(zhuǎn)工作臺，小型工具顯微鏡只要旋轉(zhuǎn)臺附件即可。
2、角度的測定：
使用旋轉(zhuǎn)工作臺或角度觀測透鏡即可進(jìn)行測定。角度觀測透鏡的精度比較好。
3、高度的測定： 
小型工具顯微鏡雖然無法測定高度，但是如果把量銀裝在支柱的上端，然后利用顯微鏡的上下移動量即可測定高度。但是由于焦點(diǎn)深度、支柱傾度及量銀和光軸間等因素影響，正確測定還是比較困難。 
4、孔徑的測定： 
一般使用角度觀測透鏡測定。大型工具顯微鏡可使用重疊影象觀測透鏡或者光學(xué)探測子，就是使用重疊影象透鏡，使生成的兩種像重疊，接著在相對的一方也是同樣，于是由移動量即可顯示孔的內(nèi)徑。如若使用光學(xué)探測器，先將它裝設(shè)在3倍的對物透鏡上，然后對準(zhǔn)探測子和工作臺的移動方向，再調(diào)整觀測鏡內(nèi)之重疊線平行于觀測透鏡的十字線，而使測定子接觸孔穴面，Z后用Y軸上的進(jìn)給校正重疊線的逆向移動，并用X軸進(jìn)給使重疊線夾住觀測透鏡的十子線，即可讀取X軸上的測定值。相對側(cè)的孔穴也這樣，所以讀取的差值再加上探測子的直徑即可獲得孔穴內(nèi)徑。