JEOL FE-SEM 采用**光闌角控制鏡

來源：捷歐路（北京）科貿有限公司更新時間：2020-01-19 14:04:25 閱讀量：943

場發(fā)射掃描電鏡 JEOL FE-SEM采用了Z佳光闌角控制鏡，因此，即使在很大的探針電流下也能獲得很小的電子束斑。此外，使用低加速電壓進行元素分析，可以減小電子束在樣品中的擴展區(qū)域，能進行高空間分辨率的微區(qū)分析。

探針電流增大時，通過光闌角控制鏡能獲得小的探針直徑。

探針電流增大時，探針直徑也變大。

低加速電壓下減少電子束在樣品中的擴展，同時利用大探針電流進行快速分析。

能夠在微區(qū)進行高空間分辨率的分析

標簽： FE-SEM 熱場發(fā)射掃描電鏡

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