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場發(fā)射掃描電鏡基本構(gòu)造

來源:納克微束(北京)有限公司 更新時間:2023-02-02 17:06:04 閱讀量:5072

一、電子源:

       也稱電子槍,產(chǎn)生連續(xù)不斷的穩(wěn)定的電子流。普通掃描電鏡的電子槍由陰極(燈絲)、柵極和陽極組成。陰極采用能加熱的鎢絲,柵極圍在陰極周圍。被加熱了的鎢絲釋放出電子,并在陽極和陰極之間施加高壓,形成加速電場,從而使電子得到能量——高速飛向(在高真空鏡筒中)樣品。而場發(fā)射電子槍與普通鎢絲電子槍有所不同,陰極呈桿狀,在它的一端有個極鋒利的尖點(直徑小于100nm),尖 端的電場極強,電子直接依靠“隧道”穿過勢壘離開陰極,由加速電壓加速產(chǎn)生高速電子流飛向樣品。一般來說,掃描電鏡加速電壓通常為1——30kV。


二、電子透鏡:

       將從電子槍發(fā)射出來的電子會聚成直徑Z小為1——5nm電子束。

  

三、掃描系統(tǒng):

       使電子束作光柵掃描運動。


4.jpg

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